Influence of methane on the capacitively coupled hydrogen discharge

DOLEŽAL, Vojtěch, Pavel DVOŘÁK and Jan JANČA. Influence of methane on the capacitively coupled hydrogen discharge. Czechoslovak journal of physics. Praha, Czech republic: Institute of Physics, Acad. Sci. CR, 2006, vol. 56, Suppl.B, p. B697-B701, 5 pp. ISSN 0011-4626.

Basic information

• Original name: Influence of methane on the capacitively coupled hydrogen discharge
• Name in Czech: Vliv metanu na kapacitně vázaný výboj ve vodíku
• Authors: DOLEŽAL, Vojtěch (203 Czech Republic), Pavel DVOŘÁK (203 Czech Republic) and Jan JANČA (203 Czech Republic, guarantor).
• Edition: Czechoslovak journal of physics, Praha, Czech republic, Institute of Physics, Acad. Sci. CR, 2006, 0011-4626.

Other information

• Original language: English
• Type of outcome: Article in a journal
• Field of Study: 10305 Fluids and plasma physics
• Country of publisher: Czech Republic
• Confidentiality degree: is not subject to a state or trade secret
• Impact factor: Impact factor: 0.568
• RIV identification code: RIV/00216224:14310/06:00015763
• Organization unit: Faculty of Science
• UT WoS: 000241336500012
• Keywords in English: hydrogen;methane;discharge
• Tags: discharge, Hydrogen, Methane
• Tags: Reviewed

Abstract

In this work the mixture of hydrogen and a small amount (0-1.5 %) of methane was studied. The measurements were carried out in a low-pressure (5 Pa) capacitively coupled radio frequency discharge. Positive ions and neutral particles were detected by Plasma Process Monitor PPM 421 (Balzers). Optical emission spectra of active discharge were measured by spectrometer Triax 550 Jobin-Yvon Spex. The dominating ions in the discharge were H+. Its amount was significantly decreased when a small amount of methane was added. Although we did not observe any neutral particles heavier than the methane, the positive ions with 1-3 carbon atoms were detected. The dominant carbon containing ion was CH5+. Further, the dissociation degree of hydrogen molecules decreased when methane was added into the discharge.

Abstract (in Czech)

V této práci se zabýváme směsí vodíku s malou příměsí metanu (0-1,5 %). Měření probíhalo v radiofrekvenčním kapacitně vázaném výboji za nízkého tlaku. Kationty a neutrální částice byly detekovány úpomocí Plasma Process Monitor PPM 421 (Balzers). Měření otické emisní spektroskopie bylo provedeno na spektrometru Triax 550 Jobin-Yvon Spex. Dominantním iontem ve výboji byl H+. Jeho množství znatelně ubylo s dodáním malého mnžství metanu. Přestože jsme nepozorovali žádnou neutrální částici těžší než metan, byly detekovány kationty s 1-3 uhlíkovými atomy. Dále se ukázalo, že disociační stupeň molekuly vodíku klesl po přidání metanu do výboje.

Links

• GD202/03/H162, research and development project: Name: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu

Investor: Czech Science Foundation

• MSM0021622411, plan (intention): Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface