Detailed Information on Publication Record
2006
Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation
FRGALA, Zdeněk, Ondřej JAŠEK, Monika KARÁSKOVÁ, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Vilma BURŠÍKOVÁ et. al.Basic information
Original name
Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation
Name in Czech
Depozice nanokystalickéhi diamantu metodou mikrovlnného PECVD s nukleací pomocí rf predpětí
Authors
FRGALA, Zdeněk (203 Czech Republic, guarantor), Ondřej JAŠEK (203 Czech Republic), Monika KARÁSKOVÁ (203 Czech Republic), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic), Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Czech Republic), Daniel FRANTA (203 Czech Republic), Jiřina MATĚJKOVÁ (203 Czech Republic), Antonin REK (203 Czech Republic), Petr KLAPETEK (203 Czech Republic) and Jiří BURŠÍK (203 Czech Republic)
Edition
Czechoslovak Journal of Physics B, Praha, Institute of Physics, AV ČR, 2006, 0011-4626
Other information
Language
English
Type of outcome
Článek v odborném periodiku
Field of Study
10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impact factor
Impact factor: 0.568
RIV identification code
RIV/00216224:14310/06:00015900
Organization unit
Faculty of Science
UT WoS
000241337000029
Keywords in English
nanocrystalline diamond; plasma enhanced chemical vapor deposition; self-bias
Tags
International impact, Reviewed
Změněno: 11/12/2006 13:27, Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
V originále
Nanocrystalline diamond film was deposited by microwave CVD in the ASTeX type reactor on a mirror polished (111) oriented n-doped silicon substrate. The deposition mixture consisted of 9 % of methane in hydrogen. The applied microwave power (2.45 GHz) and pressure were 850 W and 7.5 kPa, respectively. The substrate temperature was 1 090 K. The diamond nucleation process was enhanced by rf induced dc self {bias of -125 V. The film exhibited very low roughness (rms of heights 9.1 nm). Its hardness and elastic modules were 70 and 375 GPa, respectively. The optical constants were determined by combination of spectroscopic ellipsometry and reflectometry employing the Rayleigh-Rice theory for the roughness and the dispersion model of optical constants based on the parameterization of densities of states. The deposition rate was 57 nm/min including the 5 min nucleation step.
In Czech
Vrtsvy nanokrystalického diamantu byly připraveny metodou mikrovlnného CVD v reaktoru typu ASTEX na leštěných n-typ dopovaných křemíkových substrátech s orientací (111). Depoziční směs obsahovala 9% metanu ve vodíku. Dodávaný mikrovlnný výkon (2,45 GHz) byl 850 W a tlak byl 7,5 kPa. Teplota substrátu byla 1090 K. Nukleační proces probíhal za pomocí předpětí(-125 V) vytvářeného pomocí vysokofrekvenčního výboje. Deponované vrstvy se jevily jako velmi hladké ( rms tloušťky 9,1 nm). Tvrdost a elastický modul byly 70 a 375 GPa. Optické konstanty byly určeny kombinací spektroskopické elipsometrie a refletometrie za použití Rayleigh-Riceovi teorie pro drsnost a disperzního modelu pro optické konstanty založeného na parametrizaci hustot stavů. Depoziční rychlost byla 57 nm/min včetně 5 minutové nukleační fáze.
Links
| GA202/05/0607, research and development project |
| ||
| MSM0021622411, plan (intention) |
|