D 2006

Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Zdeněk FRGALA, Jiří BURŠÍK, Ondřej JAŠEK, Lenka ZAJÍČKOVÁ et. al.

Basic information

Original name

Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias

Name in Czech

Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí

Authors

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Czech Republic, guarantor), Zdeněk FRGALA (203 Czech Republic), Jiří BURŠÍK (203 Czech Republic), Ondřej JAŠEK (203 Czech Republic), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic), Monika KARÁSKOVÁ (203 Czech Republic), Jiřina MATĚJKOVÁ (203 Czech Republic), Antonín REK (203 Czech Republic), Daniel FRANTA (203 Czech Republic) and Petr KLAPETEK (203 Czech Republic)

Edition

1. vyd. Warsaw, E-MRS 2006 Fall meeting, p. 14-14, 1 pp. 2006

Publisher

EMRS

Other information

Language

English

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Poland

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/06:00015918

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

83-89-585-09-X

Keywords in English

nanostructures; composites; diamond films; PECVD; RF induced DC self bias voltage
Změněno: 23/10/2006 18:12, doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Abstract

V originále

Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepatred by PECVD enhanced by RF induced DC self bias

In Czech

Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí

Links

GA106/05/0274, research and development project
Name: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů
Investor: Czech Science Foundation, Multiscale approach to relationships between mechanical and microstructural characteristics of materials
GA202/05/0607, research and development project
Name: Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
Investor: Czech Science Foundation, Synthesis of carbon micro- and nanostructures by plasma technologies