Detailed Information on Publication Record
2006
Nucleation and Precipitation of Interstitial Oxygen in Czochralski Silicon
ŠTOUDEK, Richard, Pavel KLANG, Alan KUBĚNA and Josef KUBĚNABasic information
Original name
Nucleation and Precipitation of Interstitial Oxygen in Czochralski Silicon
Name in Czech
Nukleace a precipitace intersticiálního kyslíku v Czochralského křemíku
Authors
ŠTOUDEK, Richard (203 Czech Republic, guarantor), Pavel KLANG (203 Czech Republic), Alan KUBĚNA (203 Czech Republic) and Josef KUBĚNA (203 Czech Republic)
Edition
Rožnov pod Radhoštěm, Česká republika, Proceedings of The Tenth Scientific and Business Conference SILICON 2006, p. 283-284, 2 pp. 2006
Publisher
TECON Scientific, s.r.o.
Other information
Language
English
Type of outcome
Stať ve sborníku
Field of Study
10302 Condensed matter physics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
RIV identification code
RIV/00216224:14310/06:00017572
Organization unit
Faculty of Science
ISBN
80-239-7781-4
Keywords in English
Nucleation; Precipitation; Interstitial oxygen; Silicon; Infrared absorption
Změněno: 14/11/2006 14:36, Mgr. Richard Štoudek, Ph.D.
V originále
Infrared absorption spectroscopy has been applied to study interstitial oxygen (Oi) and oxygen precipitates in a series of multi-step annealed silicon samples. We have adopted Ham's theory of diffusion-limited precipitation. Then we have been able to determine concentration of the oxygen precipitates in the samples from decrease of Oi concentration during the high temperature annealing. We have also used triple-axis high-resolution x-ray diffraction to measure reciprocal space maps of these samples.
In Czech
Ke studiu intersticiálního kyslíku a kyslíkových precipitátů v sérii vícestupňově žíhaných křemíkových vzorků jsme použili infračervenou absorpční spektroskopii. Převzali jsme Hamovu teorii difúzí řízené precipitace. Potom jsme mohli z úbytku koncentrace Oi během vysokoteplotního žíhání stanovit koncentraci kyslíkových precipitátů ve vzorcích. Pro naměření map reciprokého prostoru těchto vzorků jsme použili trojosou rtg difrakci s vysokým rozlišením.
Links
| MSM0021622410, plan (intention) |
|