Depozice uhlíkových nanotrubek metodami PECVD

JAŠEK, Ondřej. Depozice uhlíkových nanotrubek metodami PECVD. Zpravodaj české vakuové společnosti. Praha: Česká vakuová společnost, 2006, roč. 16, 1-2, s. 49-55, 6 s. ISSN 1213-2705.

Základní údaje

• Originální název: Depozice uhlíkových nanotrubek metodami PECVD
• Název česky: Depozice uhlíkových nanotrubek metodami PECVD
• Název anglicky: Carbon nanotubes deposition by PECVD
• Autoři: JAŠEK, Ondřej (203 Česká republika, garant).
• Vydání: Zpravodaj české vakuové společnosti, Praha, Česká vakuová společnost, 2006, 1213-2705.

Další údaje

• Originální jazyk: čeština
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10305 Fluids and plasma physics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/06:00016099
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova anglicky: Carbon nanotubes; catalyst; plasma enchanced chemical vapor deposition
• Štítky: carbon nanotubes, CATALYST

Anotace

Uhlíkové nanotrubky byly objeveny v roce 1991 profesorem Iijimou. V tomto experimentu byly na katodě obloukového výboje, mezi dvěma uhlíkovými elektrodami v argonové atmosféře (100 Torr), objeveny válcovité struktury z uhlíku s průměrem 4-30 nm a délkou až 1 mikrometr. Jejich strukturu tvořilo několik do sebe zasunutých válců tvořených uhlíkovou rovinou. Tyto struktury byly nazvány mnohostěnné uhlíkové nanotrubky (multi-walled carbon nanotubes (MWCNTs)). Již od svého objevu vzbudily velkou pozornost jako objekty s výjimečnými mechanický vlastnostmi a velkým poměrem mezi svoji délkou a průměrem. Metody přípravy nanotrubek se od doby jejich objevu velmi rozšířily. Obloukový výboj mezi dopovanými uhlíkovými elektrodami, laserová ablace uhlíkového terče obsahujícího katalyzátor a metody typu chemical vapor deposition (CVD) dnes patří mezi nejrozšířenější způsoby přípravy uhlíkových nanotrubek. V současné době se technologie výroby nanotrubek zaměřuje na oblasti jako je depozice nanotrubek při teplotách kolem 500 C, přesnou kontrolu jejich geometrické struktury a umístění. Velkým polem pro výzkum v oblasti nanotrubek jsou aplikace. Uhlíkové nanotrubky se i přes velkou konkurenci snaží vydobýt své místo v oblastech jako je mikroelektronika, kosmický výzkum nebo nanokompozity a biotechnologie.

Anotace anglicky

Carbon nanotube were discovered in 1991 by S. Iijima. In this experiment the carbon nanotubes(diameter 4-30 nm, lenght up to 1 micrometer) were synthesized in arc discharge between two carbon rods in argon atmosphere(100 Torr). Nanotubes consist of several concentric cylinders formed from graphene layers. Such a structures were named multi-walled carbon nanotubes (MWCNTs). Exceptional properties and high aspect ratio provoked high interest in this new material. The deposition methods of carbon nanotubes today included arc discharge between doped carbon rods, laser ablation of carbon target with catalyst and very popular chemical vapor deposition methods. Nowdays the research of deposition techniques is concentrated on low temparture methods (below 500 C) and the exact control of nanotubes structure and positioning. Carbon nanotubes can be used in large field of industrial applications especially in microelectronics, space exploration, nanocomposites and biotechnology.

Návaznosti

• GA202/05/0607, projekt VaV: Název: Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi

Investor: Grantová agentura ČR, Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek