Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@inproceedings{705269, author = {Jašek, Ondřej and Karásková, Monika and Buršíková, Vilma and Zajíčková, Lenka and Franta, Daniel and Frgala, Zdeněk and Matějková, Jiřina and Rek, Antonín and Klapetek, Petr and Buršík, Jiří}, address = {Brno}, booktitle = {Moderní trendy ve fyzice plazmatu a pevných látek II}, edition = {1}, keywords = {nanocrystalline diamond;PECVD; microwave discharge}, language = {cze}, location = {Brno}, isbn = {80-210-4195-1}, pages = {133-138}, publisher = {Masarykova univerzita}, title = {Depozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX}, url = {http://aquila.physics.muni.cz/˜abr92/seminar_BB_2006/}, year = {2006} }
TY - JOUR ID - 705269 AU - Jašek, Ondřej - Karásková, Monika - Buršíková, Vilma - Zajíčková, Lenka - Franta, Daniel - Frgala, Zdeněk - Matějková, Jiřina - Rek, Antonín - Klapetek, Petr - Buršík, Jiří PY - 2006 TI - Depozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX PB - Masarykova univerzita CY - Brno SN - 8021041951 KW - nanocrystalline diamond;PECVD KW - microwave discharge UR - http://aquila.physics.muni.cz/˜abr92/seminar_BB_2006/ N2 - Nanokrystalické diamantové (NCD) vrstvy byly připraveny depozicí z plynné fáze (CVD) za nízkého tlaku v mikrovlnném plazmatu generovaném v reaktou typu ASTEX. Vrstvy byly připraveny na křemíkových substrátech s orientací (111) ze směsi metanu (9 %) a vodíku při teplotě substrátu 1090 K. Dodávaný mikrovlnný výkon (2,45 GHz) byl 850 W a pracovní tlak činil 7,5 kPa. Pro účel nukleace byl substrát vystaven vysokofrekvenčnímu výboji, který vytvářel samopředpětí -125 V. Připravené vrstvy vykazovaly velmi malou drsnost (kvadratická odchylka výšek 9,1 nm) a tvrdost a elastický modul dosahovaly hodnot 70 a 375 GPa. Optické konstanty byly určeny pomocí elipsometrie a měření reflexe a vyhodnoceny na základě Rayleigh-Riceovi teorie a disperzního modelu založeného na parametrizaci hustoty stavů. Depoziční rychlost byla 57 nm/min a to včetně 5 minutové nukleační fáze. ER -
JAŠEK, Ondřej, Monika KARÁSKOVÁ, Vilma BURŠÍKOVÁ, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Daniel FRANTA, Zdeněk FRGALA, Jiřina MATĚJKOVÁ, Antonín REK, Petr KLAPETEK and Jiří BURŠÍK. Depozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX (Nanocrystalline diamond films deposition by PECVD in ASTEX type microwave reactor). In \textit{Moderní trendy ve fyzice plazmatu a pevných látek II}. 1st ed. Brno: Masarykova univerzita, 2006, p.~133-138. ISBN~80-210-4195-1.
|