Characterization of polymer thin films deposited on aluminum films by the combined optical method and atomic force microscopy

FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Petr KLAPETEK, Růžena NEPUSTILOVÁ a Svatopluk BAJER. Characterization of polymer thin films deposited on aluminum films by the combined optical method and atomic force microscopy. Surface and Interface Analysis. USA: John Wiley & Sons, roč. 38, č. 4, s. 842-846. ISSN 0142-2421. 2006.

Základní údaje

• Originální název: Characterization of polymer thin films deposited on aluminum films by the combined optical method and atomic force microscopy
• Název česky: Charakterizace polymerních tenkých vrstev deponovaných na hliníkových vrstvách pomocí kombinované optické metody a mikroskopie atomové síly
• Autoři: FRANTA, Daniel (203 Česká republika, garant), Ivan OHLÍDAL (203 Česká republika), Petr KLAPETEK (203 Česká republika), Růžena NEPUSTILOVÁ (203 Česká republika) a Svatopluk BAJER (203 Česká republika).
• Vydání: Surface and Interface Analysis, USA, John Wiley & Sons, 2006, 0142-2421.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Spojené státy
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Impakt faktor: Impact factor: 1.427
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/06:00016537
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000237437100160
• Klíčová slova anglicky: ellipsometry; reflectometry; polymer films; AFM
• Štítky: AFM, ellipsometry, polymer films, Reflectometry

Anotace

In this paper, the results of the optical characterization of polymer thin films, deposited by the plasma enhanced chemical vapor deposition on the aluminum films performed by the multisample modification of the optical method based on combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry, are presented. Within this characterization, the existence of roughness of the boundaries of the polymer films is taken into account by means of the Rayleigh-Rice theory. The optical constants of these films are described by the dispersion model based on parameterization of the density of electronic states. It is shown that the optical constants of the polymer films depend on their thicknesses, i.e. on the deposition times. Morphology of the upper boundaries of the polymer films is also studied using atomic force microscopy.

Anotace česky

V tomto článku

Návaznosti

• FT-TA/094, projekt VaV: Název: *Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek.

Investor: Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR, Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek

• MSM 143100003, záměr: Název: Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

• MSM0021622411, záměr: Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek