J 2007

Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge

VAŠINA, Petr, Marcel MEŠKO, Jean-Christophe IMBERT, Mihai GANCIU, Caroline BOISSE-LAPORTE et. al.

Basic information

Original name

Experimental study of a pre-ionized high power pulsed magnetron discharge

Name in Czech

Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu

Authors

VAŠINA, Petr (203 Czech Republic, guarantor), Marcel MEŠKO (703 Slovakia), Jean-Christophe IMBERT (250 France), Mihai GANCIU (642 Romania), Caroline BOISSE-LAPORTE (250 France), Ludovic DE POUCQUES (250 France), Michel TOUZEAU (250 France), Daniel PAGNON (250 France) and Jean BRETAGNE (250 France)

Edition

Plasma Sources Science and Technology, Bristol, Institute of Physics Publishing, 2007, 0963-0252

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impact factor

Impact factor: 2.120

RIV identification code

RIV/00216224:14310/07:00032077

Organization unit

Faculty of Science

UT WoS

000249094100010

Keywords in English

magnetron; sputtering; high power pulses

Tags

Změněno: 27/3/2010 10:46, prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Abstract

ORIG CZ

V originále

The paper study high power impulse magnetron plasma by means of time reselved optical emision spectroscopy and electrical measurements.

In Czech

Experimenetální studie preionizovaného pulzního magnetronu velkého výkonu, článek

Links

MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface