Atomic force microscopy studies of cross-sections of columnar films

KLAPETEK, Petr, Ivan OHLÍDAL and Jiří BURŠÍK. Atomic force microscopy studies of cross-sections of columnar films. Measurement Science and Technology. Bristol, England: IOP Publishing, 2007, vol. 18, No 2, p. 528-531. ISSN 0957-0233.

Basic information

• Original name: Atomic force microscopy studies of cross-sections of columnar films
• Name in Czech: Studie řezů sloupcových vrstev pomocí mikroskopie atomové síly
• Authors: KLAPETEK, Petr, Ivan OHLÍDAL and Jiří BURŠÍK.
• Edition: Measurement Science and Technology, Bristol, England, IOP Publishing, 2007, 0957-0233.

Other information

• Original language: English
• Type of outcome: Article in a journal
• Field of Study: 10302 Condensed matter physics
• Country of publisher: United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland
• Confidentiality degree: is not subject to a state or trade secret
• Impact factor: Impact factor: 1.297
• Organization unit: Faculty of Science
• UT WoS: 000243728700029
• Keywords in English: atomic force microscopy, columnar structure
• Tags: International impact, Reviewed

Abstract

In this paper, the columnar structure of TiO2 and HfO2 thin films prepared on silicon wafers is studied using two modifications of atomic force microscopy (AFM), i.e., by standard AFM and micro-hardness modification of AFM. These methods are applied to the cross-sections of the films created by fracturing samples consisting of substrates covered with the films under investigation. It is shown that the edge of the film in the cross-section does not cause an obstacle for scanning the AFM images corresponding to both the AFM modifications mentioned above. In this paper it is also shown that the micro-hardness contrast mode of AFM is the more useful technique for imaging the columnar structure of films than standard AFM when film cross-sections exhibit artificial defects originated as a consequence of fracturing the films.

Abstract (in Czech)

V tomto článku jsou pomocí dvou modifikací míkroskopie atomové síly (AFM), tj. standardní AFM a mikrotvrdostní modifikací AFM, studovány sloupcové struktury tenkých vrstev TiO2 a HfO2 připravené na křemíkových waferech. Tyto metody jsou použity na řezy tenkých vrstev, které byly vytvořeny lámáním vzorků sestávajících se z podložek pokrytých studovanými vrstvami. Je ukázáno, že hrany vrstev v řezu nepředstavují překážku při skenování AFM obrazů ani pro jednu modifikaci AFM zmíněnou výše. V tomto článku je též ukázáno, že mód kontrastu mikrotvrdosti AFM je pro studium sloupcové struktury tenkých vrstev užitečnější technika než standardní AFM, vykazují-li řezy umělé vady vzniklé v důsledku lámání vrstev.

Links

• MSM0021622411, plan (intention): Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek

Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface