Study of Mechanical Properties of NCD Coatings

BURŠÍKOVÁ, Vilma, Jiří BURŠÍK, Monika KARÁSKOVÁ, Ondřej JAŠEK, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Daniel FRANTA, Petr KLAPETEK and Olga BLÁHOVÁ. Study of Mechanical Properties of NCD Coatings. In VI. ročník konferencie Vrstvy a povlaky 2007. 1st ed. Rožnov pod Radhoštěm: Liss a.s., 2007, p. 1-4. ISBN 978-80-969310-4-0.

Basic information

Original name

Study of Mechanical Properties of NCD Coatings

Name in Czech

Studium mechanických vlastností NCD vrstev

Authors

BURŠÍKOVÁ, Vilma (203 Czech Republic, guarantor), Jiří BURŠÍK (203 Czech Republic), Monika KARÁSKOVÁ (203 Czech Republic), Ondřej JAŠEK (203 Czech Republic), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic), Daniel FRANTA (203 Czech Republic), Petr KLAPETEK (203 Czech Republic) and Olga BLÁHOVÁ (203 Czech Republic)

Edition

1. vyd. Rožnov pod Radhoštěm, VI. ročník konferencie Vrstvy a povlaky 2007, p. 1-4, 4 pp. 2007

Publisher

Liss a.s.

---

Other information

Language

English

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/07:00020900

Organization unit

Faculty of Science

ISBN

978-80-969310-4-0

Keywords in English

Mechanical Properties; NCD Coatings;

Tags

mechanical properties, NCD Coatings

---

Abstract

V originále

The aim of the present paper was to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness, high hardness and fracture toughness by microwave PECVD in the ASTEX type reactor from mixture of methane and hydrogen. The diamond nucleation process was enhanced by RF induced dc self bias of minus 125 V. The interfacial fracture toughness substantially depended on the process of RF induced dc self-bias application. In case of samples when the RF induced dc self-bias was applied after the introduction of methane into the deposition mixture the interfacial fracture toughness was substantially higher becauseof creation of amorphous carbon intermediate layer between the silicon substrate and the nanocrystalline film.

In Czech

Byly připraveny nanokompozitní diamantové vrstvy (NCD) pomocí mikrovlnné PECVD doplněné RF indukovaným stejnosměrným záporným předpětím v reaktoru typu ASTEX. Lomová houževnatost rozhraní vrstva substrát se ukázala být závislá na způsobu přiložení RF indukovaného stejnosměrného záporného předpětí. V případě vrstev, kdy toto předpětí bylo aplikováno až po zavedení metanu do depoziční směsi, vzorky měly podstatně vyšší lomovou houževnatost díky vytvoření amorfní uhlíkové mezivrstvy vylepšující adhezi vrstvy ke křemíkovému substrátu.

---

Links

GA106/05/0274, research and development project	Name: Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů Investor: Czech Science Foundation, Multiscale approach to relationships between mechanical and microstructural characteristics of materials
GA202/05/0607, research and development project	Name: Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi Investor: Czech Science Foundation, Synthesis of carbon micro- and nanostructures by plasma technologies
MSM0021622411, plan (intention)	Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface