Detailed Information on Publication Record
2008
In-situ spectroscopic ellipsometry: optimization of monitoring and closed-loop-control procedures
HUMLÍČEK, JosefBasic information
Original name
In-situ spectroscopic ellipsometry: optimization of monitoring and closed-loop-control procedures
Name in Czech
In-situ spectroscopická elipsometie: optimmalizace of monitorovacích a řídicích procedur
Authors
HUMLÍČEK, Josef (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution)
Edition
physica status solidi (a), Applied research, Berlin, Akademie-Verlag, 2008, 1862-6300
Other information
Language
English
Type of outcome
Článek v odborném periodiku
Field of Study
10302 Condensed matter physics
Country of publisher
Germany
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impact factor
Impact factor: 1.205
RIV identification code
RIV/00216224:14310/08:00025835
Organization unit
Faculty of Science
UT WoS
000255702600018
Keywords in English
in situ ellipsometry; monitoring; closed loop control
Tags
International impact, Reviewed
Změněno: 3/1/2011 14:53, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
V originále
We discuss optimized extraction of information contained in a series of complex reflectance ratios in a series of consecutive, in-situ SE measurements during the growth of thin films. We present a general computational scheme and discuss guidelines for the optimum data treatment. As an example, we analyze several hundreds of spectra recorded during the growth of diamond-like carbon on TiCN/steel substrate.
In Czech
Diskutujeme optimalizovanou extrakci informace obsažené v serii komplexních poměrů odrazivostí z in situ elipsometrických měření pořízených během růstu tenkých vrstev. Předkládáme obecné výpočetní schema a diskutujeme vodítka pro optimální zacházení s daty. Jako příklad uvádíme analýzu nekolika stovek spekter zaznamenaných při růstu diamantu podobných uhlíkových vrstev na sustrátech ocel/TiN.
Links
| MSM0021622410, plan (intention) |
|