Detailed Information on Publication Record
2008
Influence of shadowing on ellipsometric quantities of randomly rough surfaces and thin films
OHLÍDAL, Ivan and David NEČASBasic information
Original name
Influence of shadowing on ellipsometric quantities of randomly rough surfaces and thin films
Name in Czech
Vliv stínění na elipsometrické veličiny náhodně drsných povrchů a tenkých vrstev
Authors
OHLÍDAL, Ivan (203 Czech Republic, guarantor) and David NEČAS (203 Czech Republic)
Edition
Journal of modern optics, Londýn, Taylor & Francis Ltd. 2008, 0950-0340
Other information
Language
English
Type of outcome
Článek v odborném periodiku
Field of Study
10306 Optics
Country of publisher
United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impact factor
Impact factor: 1.062
RIV identification code
RIV/00216224:14310/08:00026336
Organization unit
Faculty of Science
UT WoS
000256763900005
Keywords in English
ellipsometry; rough surfaces; rough films; shadowing; scalar diffraction theory
Tags
International impact, Reviewed
Změněno: 1/9/2008 15:29, Mgr. David Nečas, Ph.D.
V originále
The formulae enabling us to calculate the values of the ellipsometric parameters of randomly rough surfaces and very thin films with randomly rough boundaries with respect to the influence of the shadowing between the irregularities of roughness are presented. These formulae are derived within the scalar diffraction theory of light. The first formula allows the calculation of the ellipsometric parameters using a numerical method, while the second formula is the approximative one but it expresses the ellipsometric parameters in a closed form. The numerical analysis of both formulae is performed for several examples of randomly rough surfaces and thin films. Moreover, the comparison of the results achieved using both formulae respecting the shadowing and an earlier formula not including this effect is performed. The experimental data of two samples of the randomly rough silicon surfaces covered with very thin surface layers are interpreted using all the formulae mentioned. Using this experimental study, the correctness of both formulae taking into account the shadowing, is confirmed.
In Czech
Jsou presentovány vzorce umozňující nám vypočíst hodnoty elipsometrických parametrů náhodně drsných povrchů a tenkých vrstev s náhodně drsnými rozhraními s ohledem na vliv stínění mezi nerovnostmi drsnosti. Tyto vzorce jsou odvozeny v rámci skalární difrakční teorie světla. První vzorec umožňje výpočet elipsometrických parametrů pomocí numerických metod, zatímco druhá formule je přibližná, ale vyjadřuje elipsometrické parametry v uzavřeném tvaru. Oba vzorce jsou numericky zkoumány na několika příkladech drsných povrchů a tenkých vrstev. Navíc jsou porovnány výsledky dosažené s použitím obou vzorců beroucích v úvahu stínění s výsledky dřívějších vzorců, které tento jev v úvahu neberou. Pomocí všech vzorců jsou vyhodnocena experimentální data dvou vzorků náhodně drsného povrchu křemíku pokrytého velmi tenkou povrchovou vrstvou. Touto experimentální studií je potvrzena správnost obou vzorců započítávajících stínění.
Links
| MSM0021622411, plan (intention) |
|