J 2008

DEPENDENCE OF HIGHER HARMONIC FREQUENCIES MEASURED IN CAPACITIVELY COUPLED PLASMA ON THE MATCHING UNIT PARAMETERS

DVOŘÁK, Pavel a Zdeněk MORAVEC

Základní údaje

Originální název

DEPENDENCE OF HIGHER HARMONIC FREQUENCIES MEASURED IN CAPACITIVELY COUPLED PLASMA ON THE MATCHING UNIT PARAMETERS

Název česky

Závislost vyšších harmonických frekvencí měřených v kapacitně vázaném výboji na parametrech přizpůsobovacího členu

Autoři

DVOŘÁK, Pavel (203 Česká republika, garant) a Zdeněk MORAVEC (203 Česká republika)

Vydání

Chemické listy, Brno, Česká společnost chemická, 2008, 1803-2389

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/08:00027076

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

UT WoS

000208452600011

Klíčová slova anglicky

plasma; discharge; higher harmonics; capacitive; matching

Štítky

capacitive, discharge, higher harmonics, Matching, plasma
Změněno: 22. 12. 2008 11:16, doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.

Anotace

ORIG CZ

V originále

Higher harmonic frequencies of electric voltage and current are significant features of low-pressure capacitively coupled discharges. Their behaviour is quite complex since it is a function of many plasma and reactor parameters. This article deals with the influence of matching unit parameters on amplitudes of higher harmonics, which were measured by means of an uncompensated probe immersed into the plasma of an asymmetric capacitive discharge. Most of the harmonics reached their maxima in the case of optimal matching, i.e. when the RF power delivered to the discharge was maximal. However, the amount of the power delivered to the discharge did not explain the behaviour of higher harmonics sufficiently. It was shown that at our experimental conditions the behaviour of higher harmonics was determined by the sheath voltage.

Česky

Byla měřena závislost amplitud vyšších harmonických frekvencí generovaných nízkotlakým asymetrickým kapacitně vázaným výbojem na parametrech přizpůsobovacího členu. Většina vyšších harmonických frekvencí měla největší amplitudu při optimálním přizpůsobení, nicméně hodnota výkonu dodávaného do plazmatu nevysvětlila chování harmonik dostatečně. Ukázalo se, že chování vyšších harmonických frekvencí je řízeno napětím na vrstvě prostorového náboje u elktrody.

Návaznosti

MSM0021622411, záměr
Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Zobrazeno: 20. 10. 2024 10:07