D
2008
Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma
DVOŘÁK, Pavel and Zdeněk MORAVEC
Basic information
Original name
Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma
Name in Czech
Vyšší harmonické frekvence měřené v kapacitně vázaném plazmatu
Edition
Brno, 2nd CESPC - Book of extended abstracts, p. 74-74, 2008
Publisher
Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM
Other information
Type of outcome
Stať ve sborníku
Field of Study
10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher
Czech Republic
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
RIV identification code
RIV/00216224:14310/08:00027077
Organization unit
Faculty of Science
Keywords in English
plasma; higher harmonics
V originále
Measurement of higher harmonic frequencies in low-pressure capacitive discharge and dependence of their amplitudes on the matching unit parameters.
In Czech
Měření vyšších harmonických frekvencí v nízkotlakém kapacitně vázaném výboji a závislost jejich amplitud na parametrech přizpůsobovacího členu.
Links
| MSM0021622411, plan (intention) | | Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | | Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface |
|
Displayed: 3/11/2024 11:59