Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma

DVOŘÁK, Pavel and Zdeněk MORAVEC. Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma. In 2nd CESPC - Book of extended abstracts. Brno: Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM, 2008, p. 74.

Basic information

Original name

Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma

Name in Czech

Vyšší harmonické frekvence měřené v kapacitně vázaném plazmatu

Authors

DVOŘÁK, Pavel (203 Czech Republic, guarantor) and Zdeněk MORAVEC (203 Czech Republic)

Edition

Brno, 2nd CESPC - Book of extended abstracts, p. 74-74, 2008

Publisher

Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM

---

Other information

Language

English

Type of outcome

Proceedings paper

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

is not subject to a state or trade secret

RIV identification code

RIV/00216224:14310/08:00027077

Organization unit

Faculty of Science

Keywords in English

plasma; higher harmonics

Tags

higher harmonics, plasma

---

Abstract

V originále

Measurement of higher harmonic frequencies in low-pressure capacitive discharge and dependence of their amplitudes on the matching unit parameters.

In Czech

Měření vyšších harmonických frekvencí v nízkotlakém kapacitně vázaném výboji a závislost jejich amplitud na parametrech přizpůsobovacího členu.

---

Links

MSM0021622411, plan (intention)

Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface