D 2008

Radial Structure of RF Discharge in Neon

NAVRÁTIL, Zdeněk, David TRUNEC and Pavel DVOŘÁK

Basic information

Original name

Radial Structure of RF Discharge in Neon

Name in Czech

Radiální struktura RF výboje v neonu

Authors

NAVRÁTIL, Zdeněk (203 Czech Republic, guarantor), David TRUNEC (203 Czech Republic) and Pavel DVOŘÁK (203 Czech Republic)

Edition

Brno, 2nd Central European Symposium on Plasma Chemistry - Book of Extended Abstracts, p. 77 - 78, 2 pp. 2008

Publisher

Ústav fyzikální elektroniky (PřF MU), JČM

Other information

Language

English

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/08:00025160

Organization unit

Faculty of Science

Keywords in English

plasma; capacitive; neone; discharge; optical emmision spectroscopy

Tags

International impact
Změněno: 8/1/2009 12:55, doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.

Abstract

V originále

Radial structure of low-pressure capacitive RF (13.56 MHz) discharge ignited in neon was studied by means of optical emmision spectroscopy.

In Czech

Radiální struktura nízkotlakého kapacitně vázaného vysokofrekvenčního (13,56 MHz) výboje v neonu byla měřena pomocí optické emisní spektroskopie.

Links

GA202/03/0776, research and development project
Name: Magnetooptické jevy v magnetických nanostrukturách
GA202/06/1473, research and development project
Name: Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku
Investor: Czech Science Foundation, Deposition of thin films in dielectric barrier discharges at atmospheric pressure
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface