Detailed Information on Publication Record
2009
Reflectance of non-uniform thin films
NEČAS, David, Ivan OHLÍDAL and Daniel FRANTABasic information
Original name
Reflectance of non-uniform thin films
Name in Czech
Odrazivost neuniformních tenkých vrstev
Authors
NEČAS, David (203 Czech Republic, belonging to the institution), Ivan OHLÍDAL (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution) and Daniel FRANTA (203 Czech Republic, belonging to the institution)
Edition
Journal of Optics A: Pure and Applied Optics, Bristol, GB, IOP Publishing Ltd, 2009, 1464-4258
Other information
Language
English
Type of outcome
Článek v odborném periodiku
Field of Study
10306 Optics
Country of publisher
United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland
Confidentiality degree
není předmětem státního či obchodního tajemství
Impact factor
Impact factor: 1.198
RIV identification code
RIV/00216224:14310/09:00035189
Organization unit
Faculty of Science
UT WoS
000263890300005
Keywords in English
thin films; thickness non-uniformity; spectrophotometry
Tags
International impact, Reviewed
Změněno: 30/1/2012 14:17, Mgr. David Nečas, Ph.D.
V originále
A general formula for the reflectance of a thin film with non-uniform thickness is derived based on expressing its thickness distribution density. Examples of such thickness distribution densities, corresponding to various shapes of the thickness non-uniformity, are presented. In addition, a reflectance formula is derived as the second-order approximation of the general formula expanded into a power series in the root mean square (rms) value of the thickness distribution. By means of a numerical analysis, it is shown that for greater non-uniformities it is necessary to take into account their concrete shapes in the optical characterization, whereas for small non-uniformities the concrete shape is of no importance for the characterization. The theoretical results are applied to the complete optical characterization of a selected non-uniform carbon nitride film.
In Czech
Na základě vyjádření rozdělovací funkce tloušťky vrstvy je vyjádřen obecný vztah pro odrazivost neuniformní tenké vrstvy. Jsou uvedeny příklady rozdělení tlouštěk odpovídající různým tvarům tloušťkové neuniformity. Dále je odvozen vzorec pro odrazivost coby aproximace druhého řádu rozvoje obecné formule do mocninné řady ve střední kvadratické odchylce (rms) rozdělení tloušťek. Pomocí numerické analýzy je ukázno, že pro větší hodnoty tloušťkové neuniformity je při optické charakterizaci třeba vzít v úvahu konkrétní tvar neuniformity, kdežto pro malé neuniformity není konkrétní tvar podstatný. Teoretické výsledky jsou aplikovány na kompletní optickou charakterizaci vybrané neuniformní vrstvy nitridu uhlíku.
Links
| MSM0021622411, plan (intention) |
|