J 2009

Optical Characterization of Ultra-Thin Iron and Iron Oxide Films

NEČAS, David, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Daniel FRANTA, Pavel SŤAHEL, Petr MIKULÍK et. al.

Basic information

Original name

Optical Characterization of Ultra-Thin Iron and Iron Oxide Films

Name in Czech

Optická charakterizace ultratenkých vrstev železa a kysličníků železa

Authors

NEČAS, David (203 Czech Republic, belonging to the institution), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution), Daniel FRANTA (203 Czech Republic, belonging to the institution), Pavel SŤAHEL (203 Czech Republic, belonging to the institution), Petr MIKULÍK (203 Czech Republic), Mojmír MEDUŇA (203 Czech Republic, belonging to the institution) and Miroslav VALTR (203 Czech Republic)

Edition

e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, Tokyo, The Surface Science Society of Japan, 2009, 1348-0391

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

Japan

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/09:00028505

Organization unit

Faculty of Science

Keywords (in Czech)

železo; kysličník železa; elipsometrie; spektrofotometrie; odrazivost Röntgenových paprsků

Keywords in English

iron; iron oxide; thin films; ellipsometry; spectrophotometry; X-ray reflection

Tags

International impact, Reviewed
Změněno: 27/3/2013 09:17, doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Abstract

V originále

Ultra-thin films of 57Fe deposited on silicon substrates and SiOxCyHz support layers and subsequently oxidized in laboratory atmosphere are studied by two optical methods: the combination of UV/VIS/NIR spectroscopic ellipsometry and spectrophotometry, used to find layer thicknesses and optical constants, and X-ray specular reflectometry, used to obtain the electron density depth profile. The results of both methods are compared and found to be in a relatively good agreement.

In Czech

Velmi tenké vrstvy 57Fe připravené na křemíkových podložkách a podpůrných vrstvách z SiOxCyHz a následně okysličené v laboratorní atmosféře jsou studovány pomocí dvou optických metod: kombinace UV/vis/NIR spektroskopické elipsometri a spektrofotometrie, použité k nalezení tloušťek a optických konstant, a odrazivosti Röntgenových paprsků, použité k získání profilu elektronové hustoty. Výsledky obou metod jsou srovnány a shledány býti v poměrně dobré shodě.

Links

KAN311610701, research and development project
Name: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Investor: Academy of Sciences of the Czech Republic
MSM0021622410, plan (intention)
Name: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Physical and chemical properties of advanced materials and structures
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface