a 2009

Reactive magnetron sputtering - modelling of different target utilization in metallic and compound mode and situation when oxygen and hydrogen are added simultaneously

VAŠINA, Petr and Tereza SCHMIDTOVÁ

Basic information

Original name

Reactive magnetron sputtering - modelling of different target utilization in metallic and compound mode and situation when oxygen and hydrogen are added simultaneously

Name in Czech

Reaktivní magnetronové naprašování - modelování různého využítí terče a situace když je kyslík a vodík připouštěn současně

Authors

VAŠINA, Petr (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution) and Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Czech Republic, belonging to the institution)

Edition

E-MRS 2009 SYMPOSIUM P Protective coatings and Thin films’09, 2009

Other information

Language

English

Type of outcome

Konferenční abstrakt

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

France

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/09:00049591

Organization unit

Faculty of Science

Keywords (in Czech)

reaktivní naprašování

Keywords in English

reactive sputtering

Tags

Tags

International impact, Reviewed
Změněno: 5/4/2012 14:19, Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.

Abstract

V originále

Reactive magnetron sputtering - modelling of different target utilization in metallic and compound mode and situation when oxygen and hydrogen are added simultaneously, proceeding

In Czech

Reaktivní magnetronové naprašování - modelování různého využítí terče a situace když je kyslík a vodík připouštěn současně, sborník

Links

GP202/08/P038, research and development project
Name: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Czech Science Foundation, Study of hybrid deposition process and its application for thin film deposition
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface