Spectroscopic ellipsometry and polarimetry for materials and systems analysis at the nanometer scale: state-of-the-art, potential, and perspectives

LOSURDO, Maria, Michael BERGMAIR, Giovanni BRUNO, D. CATELLAN, C. COBET, A. DE MARTINO, K. FLEISCHER, Z. DOHCEVIC-MITROVIC, N. ESSER, M. GAILLET, R. GAJIC, Dušan HEMZAL, K. HINGERL, Josef HUMLÍČEK, R. OSSIKOVSKI, Z.V. POPOVIC a O. SAXL. Spectroscopic ellipsometry and polarimetry for materials and systems analysis at the nanometer scale: state-of-the-art, potential, and perspectives. Online. Journal of Nanoparticle Research. Dordrecht: Springer Netherlands, 2009, roč. 11, č. 7, s. 1521-1554. ISSN 1388-0764. [citováno 2024-04-24]

Základní údaje

• Originální název: Spectroscopic ellipsometry and polarimetry for materials and systems analysis at the nanometer scale: state-of-the-art, potential, and perspectives
• Název česky: Spektroskopická elipsometrie a polarimetrie materiálů and systémová analýza na nanometrové škále: současný stav, potenciál a perspektivy
• Autoři: LOSURDO, Maria (380 Itálie), Michael BERGMAIR (40 Rakousko), Giovanni BRUNO (380 Itálie), D. CATELLAN (250 Francie), C. COBET (203 Česká republika), A. DE MARTINO (250 Francie), K. FLEISCHER (276 Německo), Z. DOHCEVIC-MITROVIC (688 Srbsko), N. ESSER (276 Německo), M. GAILLET (250 Francie), R. GAJIC (688 Srbsko), Dušan HEMZAL (203 Česká republika, domácí), K. HINGERL (40 Rakousko), Josef HUMLÍČEK (203 Česká republika, garant, domácí), R. OSSIKOVSKI (250 Francie), Z.V. POPOVIC (688 Srbsko) a O. SAXL (826 Velká Británie a Severní Irsko)
• Vydání: Journal of Nanoparticle Research, Dordrecht, Springer Netherlands, 2009, 1388-0764.

Další údaje

• Originální jazyk: angličtina
• Typ výsledku: Článek v odborném periodiku
• Obor: 10302 Condensed matter physics
• Stát vydavatele: Nizozemské království
• Utajení: není předmětem státního či obchodního tajemství
• Impakt faktor: Impact factor: 2.478
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/09:00037726
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• UT WoS: 000270543100001
• Klíčová slova česky: Spektroskopická elipsometrie; Polarimetrie; Nanomateriály; Nanočástice.
• Klíčová slova anglicky: Spectroscopic ellipsometry; Polarimetry; Nanomaterials; Nanoparticles; Thin films; Optical characterization; Nanometrology.
• Příznaky: Mezinárodní význam, Recenzováno

Anotace

This paper discusses the fundamentals, applications, potential, limitations, and future perspectives of polarized light reflection techniques for the characterization of materials and related systems and devices at the nanoscale. These techniques include spectroscopic ellipsometry, polarimetry, and reflectance anisotropy. We give an overview of the various ellipsometry strategies for the measurement and analysis of nanometric films, metal nanoparticles and nanowires, semiconductor nanocrystals, and submicron periodic structures. We show that ellipsometry is capable of more than the determination of thickness and optical properties, and it can be exploited to gain information about process control, This paper discusses the fundamentals, applications, potential, limitations, and future perspectives of polarized light reflection techniques for the characterization of materials and related systems and devices at the nanoscale.

Anotace česky

Tato práce diskutuje základy, aplikace, potenciál, omezení a perspektivy polarizačních reflexních technik pro charakterizaci materiálů a systémů na nanometrovém měřítku.

Návaznosti

• MSM0021622410, záměr: Název: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur

Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur