a 2009

Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy

NAVRÁTIL, Zdeněk and David TRUNEC

Basic information

Original name

Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy

Name in Czech

Stanovení parametrů plazmatu RF výboje v neonu pomocí optické emisní spektroskopie

Authors

NAVRÁTIL, Zdeněk (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution) and David TRUNEC (203 Czech Republic, belonging to the institution)

Edition

Proceedings of XXIX ICPIG, 2009

Other information

Language

English

Type of outcome

Konferenční abstrakt

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Mexico

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/09:00049386

Organization unit

Faculty of Science

Keywords (in Czech)

neon; RF výboj; koncentrace elektronů; srážkově-radiační model; optická spektroskopie

Keywords in English

neon; RF discharge; electron density; c-r model; optical spectroscopy

Tags

Tags

International impact
Změněno: 12/4/2012 17:20, doc. Mgr. Zdeněk Navrátil, Ph.D.

Abstract

ORIG CZ

V originále

Electron density and electron temperature was determined in RF (13.56 MHz) discharge in neon. Collisional-radiative model was applied to determine the theoretical spectra of the discharge for specific plasma parameters. These parameters could be then determined from the best fit of the measured and theoretical spectra. Absolute intensity measurement of plasma emission coefficients of 26 neon lines provided the determination of electron density, their relative intensities determined the electron temperature. Both electron temperature and density were measured as a function of RF power. It was found, that with increasing power the electron density increases, but electron temperature decreases.

In Czech

V RF výboji v neonu byla měřena koncentrace elektronů a elektronová teplota. Studium bylo zaměřeno na oblast výboje v blízkosti elektrody. Parametry byly studovány v závislosti na elektrickém výkonu dodávaném do výboje.

Links

GA202/09/0800, research and development project
Name: Výzkum a použití impulsních a mikrovlnných zdrojů plazmatu
Investor: Czech Science Foundation
KAN101630651, research and development project
Name: Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku
Investor: Academy of Sciences of the Czech Republic, Preparation of nano-films and nano-coatings on textiles using plasma surface treatment at atmospheric pressure
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface