a 2009

Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.

SCHMIDTOVÁ, Tereza and Petr VAŠINA

Basic information

Original name

Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.

Name in Czech

Potlačené hysterezní chování rozprašování titanu v acetylenu.

Authors

SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Czech Republic, belonging to the institution) and Petr VAŠINA (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution)

Edition

International Symposium on Reactive Sputter Deposition 2009, 2009

Other information

Language

English

Type of outcome

Konferenční abstrakt

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/09:00049603

Organization unit

Faculty of Science

Keywords (in Czech)

modelovaní; magnetron; hystereze

Keywords in English

magnetron sputtering; reactive; hysteresis

Tags

Změněno: 5/4/2012 13:54, Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.

Abstract

ORIG CZ

V originále

This contribution deals with suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in argon and acetylene mixture.

In Czech

Tento příspěvek pojednává o potlačeném hysterezní chování rozprašování titanu ve směsi acetylenu a argonu.

Links

GP202/08/P038, research and development project
Name: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Czech Science Foundation, Study of hybrid deposition process and its application for thin film deposition
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface