KOLMAČKA, Michal, Magdaléna KADLEČÍKOVÁ, Juraj BREZA, Filip LAZIŠŤAN, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Marek ELIÁŠ, Karol JESENÁK and Katarína PASTORKOVÁ. Wireless temperature measurement in the hot filament CVD reactor for deposition of carbon nanotubes. Journal of Electrical Engineering. Bratislava: Slovak University of Technology, 2009, vol. 2009, Vol. 60, p. 346-349. ISSN 1335-3632.
Other formats:   BibTeX LaTeX RIS
Basic information
Original name Wireless temperature measurement in the hot filament CVD reactor for deposition of carbon nanotubes
Name in Czech Bezkontaktní měření teploty při depozici uhlíkových nanotrubek v reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlakna
Authors KOLMAČKA, Michal (703 Slovakia), Magdaléna KADLEČÍKOVÁ (703 Slovakia, guarantor, belonging to the institution), Juraj BREZA (703 Slovakia), Filip LAZIŠŤAN (703 Slovakia), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic, belonging to the institution), Marek ELIÁŠ (203 Czech Republic, belonging to the institution), Karol JESENÁK (703 Slovakia) and Katarína PASTORKOVÁ (703 Slovakia).
Edition Journal of Electrical Engineering, Bratislava, Slovak University of Technology, 2009, 1335-3632.
Other information
Original language English
Type of outcome Article in a journal
Field of Study 10305 Fluids and plasma physics
Country of publisher Slovakia
Confidentiality degree is not subject to a state or trade secret
Impact factor Impact factor: 0.175
RIV identification code RIV/00216224:14310/09:00029751
Organization unit Faculty of Science
UT WoS 000273378200007
Keywords (in Czech) uhlíkové nanotrubky; depozice z plynné fáze; izolační zesilovač
Keywords in English carbon nanotubes; chemical vapour deposition; isolation amplifier
Tags Reviewed
Changed by Changed by: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D., učo 1414. Changed: 27/3/2013 09:16.
Abstract
The experimental work deals with measuring the temperature in the hot filament chemical vapour deposition (HF CVD) reactor by a purpose-built electronic circuit. The objective is to optimize the substrate temperature, one of the key technological parameters in the synthesis of carbon nanotubes. The main outcome of the work is the design and construction of a functional thermometer, its precision calibration and improved accuracy of temperature measurement.
Abstract (in Czech)
Experimentální práce se zabývá měřením teploty reaktoru pro chemickou depozici pomocí žhaveného vlákna připraveným elektronickým zařízení. Cílem bylo najít optimální teplotu substrátu, která je jedním z klíčových parametrů při syntéze uhlíkových nanotrubek. Hlavním výsledkem práce je návrh a konstrukce funkčního teploměru, jeho přesná kalibrace a zlepšení přesnosti měření teploty.
Links
GP202/07/P523, research and development projectName: Plazmochemická depozice (PECVD) uhlíkových nanotrubek
Investor: Czech Science Foundation, Plasma enhanced chemical vapor deposition of carbon nanotubes
MEB0808100, research and development projectName: Příprava uhlíkových nanostruktur metodami CVD a jejich charakterizace
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Preparation of carbon nanostructures by CVD and their characterization, Programme KONTAKT - mobilities (MEB)
MSM0021622411, plan (intention)Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface
PrintDisplayed: 6/10/2024 13:52