Diagnostics of reactive magnetron sputtering
| VAŠINA, Petr, Pavel DVOŘÁK a Tereza SCHMIDTOVÁ. Diagnostics of reactive magnetron sputtering. In 37th EPS Conference on Plasma Physics - abstracts. 2010. |
|
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
| Základní údaje | |
|---|---|
| Originální název | Diagnostics of reactive magnetron sputtering |
| Název česky | Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování |
| Autoři | VAŠINA, Petr (203 Česká republika, domácí), Pavel DVOŘÁK (203 Česká republika, garant, domácí) a Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí). |
| Vydání | 37th EPS Conference on Plasma Physics - abstracts, 2010. |
| Další údaje | |
|---|---|
| Originální jazyk | angličtina |
| Typ výsledku | Konferenční abstrakt |
| Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
| Stát vydavatele | Irsko |
| Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
| Kód RIV | RIV/00216224:14310/10:00044281 |
| Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
| Klíčová slova česky | plazma; vyšší harmonické frekvence; reaktivní magnetronové naprašování |
| Klíčová slova anglicky | plasma; higher harmonic frequencies; reactive magnetron sputtering |
| Změnil | Změnila: Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253. Změněno: 4. 1. 2011 09:35. |
| Anotace |
|---|
| Monitoring of reactive magnetron sputtering by means of measurement of higher harmonic frequencies of discharge voltages. |
| Anotace česky |
|---|
| Monitorování reaktivního magnetronového naprašování pomocí měření vyšších harmonických frekvencí napětí. |
| Návaznosti | |
|---|---|
| GA202/07/1669, projekt VaV | Název: Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích |
| Investor: Grantová agentura ČR, Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích | |
| GP202/08/P038, projekt VaV | Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev |
| Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev | |
| MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
| Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | |
VytisknoutZobrazeno: 23. 4. 2024 10:24