MÜLLEROVÁ, Ilona, Ivo KONVALINA and Zuzana POKORNÁ. Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope. Toyama: University of Toyama, 2006, 2 pp. ISBN 4-9903248-0-3.
Other formats:   BibTeX LaTeX RIS
Basic information
Original name Acquisition of the Angular Distribution of Backscattered Electrons in the Scanning Low Energy Electron Microscope
Name in Czech Snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů v rastrovacím nízkoenergiovém elektronovém mikroskopu
Authors MÜLLEROVÁ, Ilona, Ivo KONVALINA and Zuzana POKORNÁ.
Edition Toyama, 2 pp. 2006.
Publisher University of Toyama
Other information
Original language English
Type of outcome Proceedings paper
Field of Study 20201 Electrical and electronic engineering
Country of publisher Czech Republic
Confidentiality degree is not subject to a state or trade secret
Organization unit Faculty of Science
ISBN 4-9903248-0-3
Keywords in English SLEEM; cathode lens; multichannel detector; angular distribution; BSE detection
Changed by Changed by: Mgr. Zuzana Pokorná, Ph.D., učo 21014. Changed: 2/8/2010 14:09.
Abstract
New eight-channel detector for acquisition of the angular distribution of backscattered electrons has been designed and tested. The detector is based on a multi-channel plate followed by eight concentric circular collectors centred to the optical axis. High collection efficiency and high amplification of the detector down to 100 eV of emission energy is secured by action of the cathode lens. In first experiments the detector has proved itself useful for imaging of polycrystalline structures.
Abstract (in Czech)
Byl navržen a odzkoušen nový osmikanálový detektor pro snímání úhlového rozdělení zpětně odražených elektronů. Detektor je založen na kanálkové destičce, za níž je symetricky vůči optické ose umístěno osm soustředných kruhových detektorů. Vysoká sběrová účinnost a vysoké zesílení detektoru až do 100 eV emisní energie je zajištěno působením katodové čočky. Již v prvních experimentech se detektor osvědčil jako užitečný pro zobrazení polykrystalických struktur.
Links
GA102/05/2327, research and development projectName: Přímé zobrazení rozložení dopantů v polovodiči pomocí pomalých elektronů
PrintDisplayed: 4/10/2024 20:21