D
2010
Impact of neutral gas temperatures on reactive magnetron sputtering
SCHMIDTOVÁ, Tereza a Petr VAŠINA
Základní údaje
Originální název
Impact of neutral gas temperatures on reactive magnetron sputtering
Název česky
Vilv teploty neutrálního plynu na reaktivní magnetronové naprašování
Vydání
Plzeň, Potential and Applications of Thin Ceramic and Metal Coatings, od s. 75-76, 2 s. 2010
Nakladatel
University of West Bohemia
Další údaje
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV
RIV/00216224:14310/10:00044481
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky
magnetronové naprašování, modelování, teplota, hystereze
Klíčová slova anglicky
magnetron sputtering; modelling; temperature; hysteresis
V originále
Temperature is an important parameter which influences whole sputtering process. A model of reactive magnetron sputtering was used to investigate an effect of different temperatures in reactor during reactive sputtering on a hysteresis behaviour of the sputtering. We report shifts of transitions between two modes of a reactive sputtering process.
Česky
Teplota je důležitým parametrem, který ovlivňuje celý rozprašovací proces. Pro vyšetření vlivu různých teplot v reaktoru na hysterezní chování při procesu rozprašování byl použit model reaktivního magnetronového naprašování. Prezentuje posun ve skocích mezi dvěma módy reaktivního rozprašováního procesu.
Návaznosti
| GD104/09/H080, projekt VaV | | Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace | | Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace |
|
| GP202/08/P038, projekt VaV | | Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev | | Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev |
|
| MSM0021622411, záměr | | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | | Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
|
Zobrazeno: 17. 11. 2024 04:45