Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions
SCHMIDTOVÁ, Tereza, Petr VAŠINA a Pavel SOUČEK. Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions. In Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass. 2010. |
Další formáty:
BibTeX
LaTeX
RIS
|
Základní údaje | |
---|---|
Originální název | Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions |
Autoři | SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí), Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí) a Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí). |
Vydání | Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass, 2010. |
Další údaje | |
---|---|
Originální jazyk | angličtina |
Typ výsledku | Konferenční abstrakt |
Obor | 10305 Fluids and plasma physics |
Stát vydavatele | Česká republika |
Utajení | není předmětem státního či obchodního tajemství |
Kód RIV | RIV/00216224:14310/10:00045790 |
Organizační jednotka | Přírodovědecká fakulta |
Klíčová slova česky | magnetronové naprašování; modelování |
Klíčová slova anglicky | magnetron sputtering; modelling |
Změnil | Změnila: Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253. Změněno: 4. 1. 2011 09:34. |
Anotace |
---|
Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions. No hysteresis effect was observed and modelled. |
Návaznosti | |
---|---|
GD104/09/H080, projekt VaV | Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace |
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace | |
GP202/08/P038, projekt VaV | Název: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev |
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev | |
MSM0021622411, záměr | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
VytisknoutZobrazeno: 28. 3. 2024 18:24