SCHMIDTOVÁ, Tereza, Petr VAŠINA a Pavel SOUČEK. Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions. In Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass. 2010.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions
Autoři SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí), Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí) a Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí).
Vydání Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass, 2010.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Konferenční abstrakt
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Česká republika
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/10:00045790
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky magnetronové naprašování; modelování
Klíčová slova anglicky magnetron sputtering; modelling
Změnil Změnila: Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D., učo 151253. Změněno: 4. 1. 2011 09:34.
Anotace
Hybrid PVD-PECVD process: focusing on modelling and steady-state conditions. No hysteresis effect was observed and modelled.
Návaznosti
GD104/09/H080, projekt VaVNázev: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
GP202/08/P038, projekt VaVNázev: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
MSM0021622411, záměrNázev: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
VytisknoutZobrazeno: 28. 3. 2024 18:24