J 2010

SYNTHESIS OF CARBON NANOSTRUCTURES BY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION AT ATMOSPHERIC PRESSURE

JAŠEK, Ondřej, Petr SYNEK, Lenka ZAJÍČKOVÁ, Marek ELIÁŠ, Vít KUDRLE et. al.

Basic information

Original name

SYNTHESIS OF CARBON NANOSTRUCTURES BY PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION AT ATMOSPHERIC PRESSURE

Name in Czech

Syntéza uhlíkových nanotrubek metodou PECVD za atmosférického tlaku

Authors

JAŠEK, Ondřej (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution), Petr SYNEK (203 Czech Republic, belonging to the institution), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Czech Republic, belonging to the institution), Marek ELIÁŠ (203 Czech Republic, belonging to the institution) and Vít KUDRLE (203 Czech Republic, belonging to the institution)

Edition

Journal of Electrical Engineering, Bratislava, Slovak University of Technology, 2010, 1335-3632

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Slovakia

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

References:

Impact factor

Impact factor: 0.278

RIV identification code

RIV/00216224:14310/10:00040639

Organization unit

Faculty of Science

UT WoS

000284749900013

Keywords (in Czech)

uhlíkové nanostruktury, PECVD, atmosférický tlak

Keywords in English

carbon nanostructures; plasma enhanced chemical vapour deposition; atmospheric pressure

Tags

International impact, Reviewed
Změněno: 27/4/2013 10:50, prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Abstract

ORIG CZ

V originále

Carbon nanostructures present the leading field in nanotechnology research. A wide range of chemical and physical methods was used for carbon nanostructures synthesis including arc discharges, laser ablation and chemical vapour deposition. Plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD) with its application in modern microelectronics industry became soon target of research in carbon nanostructures synthesis. Selection of the ideal growth process depends on the application. Most of PECVD techniques work at low pressure requiring vacuum systems. However for industrial applications it would be desirable to work at atmospheric pressure. In this article carbon nanostructures synthesis by plasma discharges working at atmospheric pressure will be reviewed.

In Czech

Uhlíkové nanostruktury patří mezi vedoucí nanotechnologický výzkum. K syntéze uhlíkových nanostruktur lze použít širokou škálu chemických a fyzikálních metod jako například obloukové výboje, laserovou ablaci a CVD. PECVD se svých uplatněním v mikroelektronice se brzy stalo cílem výzkumu i v této oblasti. Výběr metod úzce souvisí s aplikací dané technologie. Ačkoli mnoho metod pracuje při nízkém tlaku, z hlediska aplikací by bylo vhodné použít metodou pracující za atmosférického tlaku. V této publikaci jsou shrnuty metody syntézy uhlíkových nanostruktur za atmosférického tlaku.

Links

GAP205/10/1374, research and development project
Name: Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností
Investor: Czech Science Foundation
GA202/08/0178, research and development project
Name: Syntéza magnetických nanočástic na bázi Fe v nízkoteplotním mikrovlnném plazmatu
Investor: Czech Science Foundation, Synthesis of Fe-based magnetic nanoparticles in low-temperature microwave plasma
GD104/09/H080, research and development project
Name: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Czech Science Foundation
KAN311610701, research and development project
Name: Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
Investor: Academy of Sciences of the Czech Republic
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface

Files attached

v10187-011-0049-9.pdf
Find similar documents