MÜNZ, Filip, Josef HUMLÍČEK and Přemysl MARŠÍK. Optimized calibration and measurement procedures in rotating analyzer and rotating polarizer ellipsometry. Thin Solid Films. Elsevier, 2011, vol. 519, No 9, p. 2703-2706. ISSN 0040-6090. Available from: https://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.063.
Other formats:   BibTeX LaTeX RIS
Basic information
Original name Optimized calibration and measurement procedures in rotating analyzer and rotating polarizer ellipsometry
Name in Czech Optimalizovaná kalibrace a proces měření v elipsometrii s rotačním analyzátorem či polarizátorem
Authors MÜNZ, Filip (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution), Josef HUMLÍČEK (203 Czech Republic, belonging to the institution) and Přemysl MARŠÍK (203 Czech Republic).
Edition Thin Solid Films, Elsevier, 2011, 0040-6090.
Other information
Original language English
Type of outcome Article in a journal
Field of Study 10302 Condensed matter physics
Country of publisher Czech Republic
Confidentiality degree is not subject to a state or trade secret
Impact factor Impact factor: 1.890
RIV identification code RIV/00216224:14310/11:00051581
Organization unit Faculty of Science
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.063
UT WoS 000289174200029
Keywords (in Czech) elipsometrie: spektroskopická; analyzátor: rotační
Keywords in English ellipsometry: spectroscopic; analyzer: rotating
Tags AKR, rivok
Changed by Changed by: prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc., učo 307. Changed: 6/1/2014 13:27.
Abstract
Accurate spectroellipsometric (SE) measurements in the rotating analyzer (RAE) or rotating polarizer (RPE) configurations require accurate values of the polarizer/analyzer(/retarder) azimuths. Accurate spectroellipsometric (SE) measurements in the rotating analyzer (RAE) or rotating polarizer (RPE) configurations require accurate values of the polarizer/analyzer(/retarder) azimuths. While the readings are usually fairly accurate, true values are influenced by possible offsets between the plane of incidence, physical axes of the elements, and the instrument scales. The offsets are often determined by specialized calibration procedures. We describe SE measurements designed to obtain the calibration parameters together with the target ellipsometric spectra. We use multiple settings of the polarizer (analyzer) azimuths in RAE (RPE), respectively, to optimize precision and accuracy of SE measurements, and to economize measurement time. The optimization concerns the choice of measurement parameters as well as the subsequent data analysis. We present in detail examples of visible-ultraviolet measurements.
Abstract (in Czech)
Přesná elipsometrická měření (SE) s rotačním polarizátorem nebo analyzátorem vyžadují správné hodnoty azimutů polarizačních prvků. Zatímco přesnost odečtu bývá obvykle dostatečná, skutečná hodnota je ovlivněna i odchylkou mezi rovinou dopadu, fyzickými osami prvků a přístrojovými stupnicemi. Tato odchylka bývá stanovena zvláštními kalibračními procedurami. Navrhujeme způsob SE měření, při kterých lze získat kalibrační údaje spolu s měřenými daty. Používáme několik nastavení polarizátoru nebo analyzátoru s optimalizací přesnosti a správnosti SE měření. Optimalizace se vztahuje na volbu parametrů i proces následné analýzy dat. Uvádíme také příklad měření ve viditelné a ultrafialové oblasti.
Links
MSM0021622410, plan (intention)Name: Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Physical and chemical properties of advanced materials and structures
PrintDisplayed: 10/5/2024 05:07