a 2011

Experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium target sputtering in argon and acetylene

SCHMIDTOVÁ, Tereza, Petr VAŠINA and Pavel SOUČEK

Basic information

Original name

Experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium target sputtering in argon and acetylene

Name in Czech

Experimentální studie hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu

Authors

SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Czech Republic, belonging to the institution), Petr VAŠINA (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution) and Pavel SOUČEK (203 Czech Republic, belonging to the institution)

Edition

RSD 2011 - Reactive Sputter Deposition, 2011

Other information

Language

English

Type of outcome

Konferenční abstrakt

Field of Study

10305 Fluids and plasma physics

Country of publisher

Sweden

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/11:00050229

Organization unit

Faculty of Science

Keywords (in Czech)

magnetronové rozprašování; hybridní PVD-PECVD proces; diagnostika; hystereze; OES

Keywords in English

magnetron sputtering; hybrid PVD-PECVD; diagnostics; hysteresis; OES
Změněno: 6/1/2012 10:43, doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Abstract

ORIG CZ

V originále

This contribution deals with the experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene.

In Czech

Tento příspěvek se věnuje experimentálnímu studiu hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu

Links

ED2.1.00/03.0086, research and development project
Name: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GD104/09/H080, research and development project
Name: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Czech Science Foundation
MSM0021622411, plan (intention)
Name: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Study and application of plasma chemical reactions in non-isothermic low temperature plasma and its interaction with solid surface