D
2011
Alternative method for flow measurement of clog producing gases and liquids in PVD and PECVD processes
ZELINA, Peter, Vít KUDRLE a Ondřej JAŠEK
Základní údaje
Originální název
Alternative method for flow measurement of clog producing gases and liquids in PVD and PECVD processes
Název česky
Alternativní metoda měření průtoku plynů a kapalin v depozících PVD a PECVD
Vydání
1. vyd. Plzeň, Book of Extended Abstracts POTENTIAL AND APPLICATIONS OF THIN CERAMIC AND METAL COATINGS 2011, od s. 87-88, 2 s. 2011
Nakladatel
University of West Bohemia
Další údaje
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Forma vydání
tištěná verze "print"
Kód RIV
RIV/00216224:14310/11:00067384
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova česky
měření průtoku; PECVD; Pitotova trubice; Pentakarbonyl železa
Klíčová slova anglicky
flow measurement; PECVD; Prandtl-Pitot tube; Iron pentacarbonyl
V originále
In this work we present a method to measure gas flow where conventional mass flow-meters cannot be used. These are the cases when one operates with highly reactive gases, unstable substances or meets other difficulties. We successfully used Prandtl-Pitot tube for measurement of iron pentacarbonyl flow during the process of plasma synthesis of nanoparticles.
Česky
V této práci je použita metoda měření průtoku plynů v případě. kdy nelze použít elektronické průtokoměry, jako například vysoce reaktivní plyny, nestabilní látky nebo dochází k jiným typům komplikací při použití průtokoměrů. Úspěšně jsme použilu metodu využívající Pitotovu trubici pro měření průtoku pentakarbonylu železa př syntéze železných nanočástic metodou PECVD.
Návaznosti
| MSM0021622411, záměr | | Název: Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek | | Investor: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR, Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek |
|
Zobrazeno: 9. 11. 2024 00:14