D 2004

Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University

MIKULÍK, Petr

Basic information

Original name

Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University

Name in Czech

Projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě

Authors

MIKULÍK, Petr (203 Czech Republic, guarantor)

Edition

Rožnov pod Radhoštěm, Proceedings of International Conference Silicon-2004, p. 54-55, 2 pp. 2004

Publisher

Karel Vojtěchovský

Other information

Language

English

Type of outcome

Stať ve sborníku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

Czech Republic

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

RIV identification code

RIV/00216224:14310/04:00010943

Organization unit

Faculty of Science

Keywords in English

clean room; silicon; chip

Tags

Změněno: 10/2/2005 14:46, doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Abstract

ORIG CZ

V originále

The paper presents ideas, motivation and plans the the projection of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University.

In Czech

Práce popisuje myšlenky, motivaci a plán pro projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě.

Links

MSM 143100002, plan (intention)
Name: Fyzikální vlastnosti nových materiálů a vrstevnatých struktur
Investor: Ministry of Education, Youth and Sports of the CR, Physical properties of new materials and layered structures