Master's thesis

The growth of thin ALD films and multilayers on different substrates

Studium rastu tenkých ALD vrstev a multivrstev na různých substrátech

Bc. Dominik Bača
Abstract

V této diplomové práci se věnujeme růstu tenkých vrstev metodou Atomic layer deposition (ALD) na různých substrátech. Důraz je kladen na povrchové úpravy atmosferickým plazmatem a sledován je vliv plazmové úpravy jak na složení substrátu, tak na růst vrstvy. Jako zdroj atmosferického plazmatu byl použit difúzní koplanární povrchový bariérový výboj (DCSBD). DCSBD výboj je charakteristický nízkoteplotním …more

Abstract

In this diploma thesis we study the growth of thin films by the Atomic Layer Deposition (ALD) method on various substrates. The focus is placed on surface treatments with atmospheric plasma and the effect of plasma treatment on both the composition of the substrate as well as the growth of the layer. Diffuse coplanar surface barrier discharge (DCSBD) was used as the source of atmospheric plasma. DCSBD …more

Keywords
Povrchová úprava atmosferické plazma DCSBD polyimid ALD Al2O3 CuBr XPS SEM AFM Surface modification atmospheric plasma polyimide
Thesis description
Cílem práce je studium rastu tenkých vrstev deponovaných metodou Atomic Layer Deposition (ALD) na různých substrátech. Okrem tenkých monovrstev, bude studován i rast multivrstev a nanolaminátů. Je známe, že povrchová úprava vrstev/substrátů významně ovplyvňuje rast vrstev. V práci bude studován rast tenkých vrstev Al2O3, TiO2 a případně jiných materiálů na substrátech modifikovaných atmosférickým plazmatem. Práce je zejména vhodná pro studenta se zájmem o povrchové analýzy materiálů. Povrchové vlastnosti vrstev budou studovány metodami AFM, SEM, XPS a nanoindentační metodou. V rámci této práce student získá hlubší znalosti přípravy vrstev metodou ALD, nakolik bude pracovat na zařízení vyvinutém na ÚFE a bude se podílet na jeho dalším vývoji.
Administrative information
The thesis has been checked:
24/8/2020 08:23, RNDr. Richard Krumpolec, PhD., UČO 235947
Full text of thesis
35,8 MB / file PDF
Language used
Czech Czech
Defence date
7/9/2020
The thesis was defended successfully

Supervisor

RNDr. Richard Krumpolec, PhD., UČO 235947
ÚFTP Fyz PřF MU

Reader

prof. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., UČO 175085
ÚFTP Fyz PřF MU

Literature

  • CAMERON, David Campbell; Richard KRUMPOLEC; Tatiana IVANOVA; Tomáš HOMOLA and Mirko ČERNÁK. Nucleation and initial growth of atomic layer deposited titanium oxide determined by spectroscopic ellipsometry and the effect of pretreatment by surface barrier discharge. Applied Surface Science. North-Holland, 2015, vol. 345, August, p. 216-222. ISSN 0169-4332. Available from: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2015.03.135.
  • KRUMPOLEC, Richard; David Campbell CAMERON; Tomáš HOMOLA and Mirko ČERNÁK. Surface chemistry and initial growth of Al2O3 on plasma modified PTFE studied by ALD. Surfaces and Interfaces. Amsterdam: Elsevier Science, 2017, vol. 6, March, p. 223-228. ISSN 2468-0230. Available from: https://doi.org/10.1016/j.surfin.2016.10.005.
Cite this text
Masaryk University Faculty of Science
Programme
Physics
Field of Study

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.

Similar documents

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.