Oponentní posudek na diplomovou práci Miloše Hovorky „Charakterizace strukturního poškození broušených povrchů Si pomocí rtg difrakce. Broušení křemíkových desek je jednou z nutných operaci při výrobě desek pro polovodičové součástky. Znalost míry mechanického poškození je důležitá pro technologii dalšího zpracování desky a každá metodika charakterizace zhmoždění podpovrchové oblasti desky může přinést cenné informace a praktické poznatky. Téma práce - studium poškození povrchu broušené desky rentgenovými metodami - je proto zajímavé a aktuální. Práce je rozdělena do tří kapitol. První, rozsahem nejmenší kapitola, shrnuje základní pojmy z teorie rentgenové difrakce. a je přípravou pro obsáhlou kapitolu druhou, věnovanou teorii difrakce na krystalu, jehož zhmoždění je modelováno pomocí deformovaných mozaikových bloků. Diplomant velmi detailně, se zřejmým přehledem a dobrým pochopením problematiky popisuje teorii difrakce na zmíněné struktuře. Pečlivě komentuje jednotlivé kroky výpočtu a zdůvodňuje použité aproximace. Velmi sympatické je časté používání křížových odkazů, které je vlastní celé práci, a usnadňuje čtenáři udržet si přehled v obtížném textu. Dobrým nápadem jsou simulace projekcí Pqx a Pqz, ve kterých se sleduje charakter změn projekcí a jejich citlivost k různým hodnotám parametrů mozaikových bloků Zde by mohlo být užitečné doplnit do grafů simulací informaci o poměru signál/šum dosažitelném pomocí laboratorního experimentálního vybavení. Tento údaj byl poskytl konkrétnější představu o citlivosti metody k různým parametrům struktury. Nicméně závěr druhé kapitoly je velmi dobrou průpravou pro interpretaci měřených křivek. Třetí, nej rozsáhlejší kapitola je věnována vlastním experimentům a jejich vyhodnocení. V úvodu kapitoly je velmi stručná literární rešerše doplněná krátkým popisem základních operací při výrobě křemíkových desek. Výklad pokračuje detaily přípravy vzorků, provedení a vyhodnocení rentgenových experimentů. Překvapivě nevedly odlišné způsoby broušení k výraznějším odchylkám v charakteristických parametrech broušených povrchů detekovatelných rentgenovou difrakcí. Pro odhad hloubky zhmožděné vrstvy byly realizovány pracné experimenty s postupným odleptáváním povrchu anodickou oxidací a následným rtg měřením.. Avšak hloubka porušené vrstvy takto odhadnutá není v dobrém souladu s výsledky rtg měření na neleptaných vzorcích. Rentgenová měření byla doplněna experimenty na AFM, jejichž výsledky však neposkytly žádná data přímo srovnatelná s údaji získanými rtg. difrakcí. Po formální stránce je práce na velmi dobré úrovni. Méně kvalitní jsou jen schématické náčrtky. K práci mám několik konkrétních drobných poznámek (uvedeny na konci posudku) a pár poznámek obecnějších. Domnívám se, že literární rešerše tak, jak je provedena na začátku kapitoly 3 je nedostatečná. Nevelký počet zmíněných prací (seznam literatury obsahuje jen 11 odkazů na časopisecké články) a zejména jen velmi letmá zmínka o výsledcích experimentů v citovaných pracích je dle mého názoru nej vážnějším nedostatkem diplomové práce. Autor se soustředil na problematiku teorie rentgenové difrakce a rentgenové experimenty a zcela opomněl alespoň zmínit materiálové otázky a možnosti studia porušené vrstvy jinými metodami. Práce je tak dílo samo pro sebe a nesnaží se začlenit do aktuálního stavu studované problematiky. Doplnění textu tímto směrem by jej s relativně malým úsilím mohlo významně obohatit, zejména za situace, kdy rentgenové metody v práci použité nenalezly větší rozdíly mezi různě broušenými povrchy. K významu práce by také mohlo přispět, kdyby byly provedeny a vyhodnoceny i experimenty na deskách broušených standardní technologií při výrobě Si desek. Podle vlastních slov autora použité broušení neodpovídá přibližně žádnému ze standardních kroků výroby. Byl nějaký důvod omezit se pouze na vzorky vlastnoručně připravené? Aplikace modelu deformovaných mozaikových bloků přinesla řadu parametrů popisujících zhmoždění povrchové vrstvy, některé z nich s relativně malou chybou. Přesto se nepodařilo žádný z těchto parametrů úspěšně konfrontovat s hodnotou získanou jiným způsobem a nebo známou z literatury. U obhajoby by se diplomant mohl zamyslet, zda by nebylo možné odhadnout tzv. determinovanou deformaci o~ měřením pnutí ze zkřivení substrátu vhodně připraveného vzorku. Odpovídá zjištěná hodnota er-- alespoň přibližně pnutí v broušených vrstvách publikovanému v literatuře (viz např.[l])? Přes uvedené připomínky je zřejmé, že diplomant úspěšně zvládl příslušné partie teorie rtg. difrakce, problematiku rtg. experimentů a jejich vyhodnocení. Je nepochybné, že se v tématu velmi dobře orientuje a že odvedl velký kus práce. Proto doporučuji předloženou práci uznat jako diplomovou v magisterském studijním programu Fyzika a navrhuji známku výborně. Připomínky k práci: 1) Obr. 1.1 str. 6, neoznačen vlnový vektor dopadajícího záření. 2) Str. 11, poslední dva řádky. Má smysl udávat absorpční délku na 5 platných míst? 3) Str. 13, normalizační podmínka, lépe „normovači podmínka". 4) Str. 18, k textu druhého odstavce by bylo vhodné doplnit obrázek. 5) Obr. 2.7 na str. 26 a řada dalších, Popisky křivek nejsou uspořádány monotónně podle velikosti sledovaného parametru. Tento detail velmi znesnadňuje rychlou orientaci v obrázcích. 6) Str. 29, ř. 8 zdola. Chybně uveden odkaz na obrázek. 7) Obr. 3.1, str. 39. Opravdu bylo měření prováděno na goniometru Siemens? 8) Str. 46 a 47. Pro snazší porovnání map by bylo vhodné, aby všechny byly nakresleny ve stejném rozsahu os. Podobně i pro obrázky na str. 57 - 59. 9) Obr. 3.36, str. 65, nedostatečný popis os. V Brně 7. 6. 2004 Zdeněk Bochníček Literatura [1] J. Chen, I de Wolf, Semicond. Sci Technol (2003) 261-268.