Bachelor's thesis

Creation of thin structured layers by plasma jets

Vytváření strukturovaných tenkých vrstev plazmovými tryskami

Simona Ivanová, UČO 269561
Abstract

Tato práce je zaměřena na vytváření tenkých strukturovaných vrstev za použití technologie plazmové tužky a zkoumá vliv depozičních parametrů na jejich utváření. Pro tento účel byl aplikován prekurzor dusičnanu zirkonylu. V teoretické části této práce je popsán princip generování plazmatu pomocí plazmové tužky a je přiblížena problematika deponování tenkých strukturovaných vrstev. V experimentální části …more

Abstract

This work is focused on creating thin structured layers using plasma technology pencils and examines the influence of deposition parameters on their formation. For this purpose it was applied precursor of zirconyl nytrate. In the theoretical part of this work describes the principle of generating plasma using the plasma pencil and an idea of depositing thin structured layers. In the experimental section …more

Keywords
plazma plazmová tužka tenké strukturované vrstvy aerosol prekurzor plasma plasma pencil thin structured layers precursor
Thesis description
Prostudujte možnosti vytváření strukturovaných tenkých vrstev plazmovými tryskami (plazmovou tužkou)z různých druhů prekurzorů. U vybraných vzorků proveďte diagnostiku jejich struktury a chemického složení.
Administrative information
The thesis has been checked:
1/6/2010 11:56, Mgr. Miloš Klíma, Ph.D.
Full text of thesis
12 MB / file PDF
Language used
Czech Czech
Defence date
15/6/2010
The thesis was defended successfully

Supervisor

Mgr. Miloš Klíma, Ph.D.
Chem PřF MU

Literature

  • KLÍMA, Miloš; Milan ALBERTI; Tomáš SVOBODA; Vilma BURŠÍKOVÁ; Pavel SLAVÍČEK; Daniel FRANTA; Michal MAZÍK and Pavel HÁN. Způsob realizace polyreakcí, plazmo-chemických polyreakcí, jejich modifikace a modifikace makromolekulárních látek plazmovou tryskou s dielektrickou kapilárou obepnutou dutou katodou (Method of realisation of polyreactions, plasma-chemical polyreactions, their modification and modification of macromolecular substances by the plasma jet with a dielectric capillary enlaced by a hollow cathode). 2007.
Cite this text
Masaryk University Faculty of Science
Programme
Chemistry
Field of Study

Theses on a related topic

List of theses with an identical keyword.

Similar documents

  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.

  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.

  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.

  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.

  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.