Master's thesis
Awards: Dean's Award for an Outstanding Final Thesis

Defect detection in electron-optical aperture using neural networks

Detekce defektů elektronově-optických clonek pomocí neuronových sítí

Bc. Štěpán Beneš
Abstract

Cílem této teze bylo prozkoumat široké spektrum technik pro detekci anomálií, postavených na neuronových sítích, a prověřit jejich potenciál posloužit jakožto automatizované detektory defektů v reálném výrobním procesu. Za tímto účelem byl společností TESCAN poskytnut data set snímků převážně bezvadných elektronově-optických clonek. Teze poskytuje důkladný přehled architektur neuronových sítí, jež …more

Abstract

The goal of this thesis was to explore a variety of neural network-based anomaly detection techniques and gauge their potential to be used as automatic defect detectors in a real-world manufacturing process. To this end a small data set consisting of images of predominantly non-defective electron-optical apertures was provided by TESCAN. The thesis provides a thorough overview of neural network …more

Thesis description

Typizovaná součástka, konkrétně elektronově-optická clona, musí být pro svoji správnou funkci zcela bez defektů a nečistot. Proto se při její montáži provádí kontrola kvality v rastrovacím elektronovém mikroskopu, který umožňuje díky vysokému zvětšení a charakteru obrazu zviditelnit defekty, které by v optickém mikroskopu byly těžko rozeznatelné. Kontrola se provádí vizuálně, operátor anotuje defekty a stanovuje, které jsou nepřijatelné.

Cílem práce je prozkoumat moderní metody založené na neuronových sítích, které umožňují automatickou detekci defektů. Na základě trénovací množiny obrázků anotovaných operátorem bude provedeno vyhodnocení použitelnosti nastudovaných přístupů na obrázcích clonek pořízených rastrovacím elektronovým mikroskopem (v režimu SE i BSE).

The thesis has been checked:
11/1/2021 11:10, doc. RNDr. Pavel Matula, Ph.D., UČO 2927
Language used
English English
Defence date
9/2/2021
The thesis was defended successfully

Supervisor

doc. RNDr. Pavel Matula, Ph.D., UČO 2927
CABO KVI FI MU

Reader

doc. RNDr. David Svoboda, Ph.D., UČO 2824
CABO KVI FI MU

Masaryk University Faculty of Informatics
Programme
Applied Informatics
Field of Study
  • Přidání souboru

    Soubor nebo složku lze nahrát pomocí tlačítka Přidat.
  • Další operace se soubory

    Podrobnosti lze zjistit označením příslušného řádku.
  • Pohled pro experty

    Pro častou práci je možné zvolit režim Více možností.
  • Vyhledávání souborů

    Vyhledávaný výraz můžete zadat přímo do adresního řádku.
  • Rychlý přístup k souborům

    Pomocí funkce Nedávné je možné se rychle vrátit k právě prohlíženým souborům. Oblíbené soubory je také možné označit Hvězdičkou.