SCHMIDTOVÁ, Tereza, Pavel SOUČEK a Petr VAŠINA. Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process. In Thirteenth International Conference on Plasma Surface Engineering. 2012.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process
Autoři SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí).
Vydání Thirteenth International Conference on Plasma Surface Engineering, 2012.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Konferenční abstrakt
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Německo
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/12:00057670
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
Klíčová slova anglicky hybrid PVD-PECVD; magnetron sputtering; diagnostics
Štítky AKR, rivok
Změnil Změnila: Ing. Andrea Mikešková, učo 137293. Změněno: 23. 4. 2013 09:31.
Anotace
Evolution of basic deposition plasma parameters such as discharge voltage and current, total pressure and selected spectral emission line intensities as a function of acetylene supply flow is reported and correlated with the evolution of the state of the target.
Návaznosti
ED2.1.00/03.0086, projekt VaVNázev: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaVNázev: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
GD104/09/H080, projekt VaVNázev: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
VytisknoutZobrazeno: 22. 7. 2024 23:30