D 2012

Hybrid PVD-PECVD Process and Its Application for Carbon Ritch Nanocomposite Thin Film Deposition

VAŠINA, Petr, Tereza SCHMIDTOVÁ, Pavel SOUČEK a Vilma BURŠÍKOVÁ

Základní údaje

Originální název

Hybrid PVD-PECVD Process and Its Application for Carbon Ritch Nanocomposite Thin Film Deposition

Autoři

VAŠINA, Petr (203 Česká republika, garant, domácí), Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí)

Vydání

Trenčín, Vrstvy a povlaky 2010: Zborník prednášok, od s. 133-134, 2 s. 2012

Nakladatel

Miloš Vavrík - Knihvazačstvo Trenčín

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Stať ve sborníku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Forma vydání

tištěná verze "print"

Kód RIV

RIV/00216224:14310/12:00057672

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-80-970824-1-3

Klíčová slova anglicky

hybrid PVD-PECVD; magnetron sputtering

Štítky

Změněno: 19. 3. 2013 15:12, doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Anotace

V originále

This paper dsiscusses the tybrid PVD-PECVD process and its application for carbon ritch nanocomposite thin film deposition

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaV
Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev