a 2012

Comparison of nc-TiC/a-C:H Films Prepared by PVD-PECVD Process at Low and High Ion Bombardment

SOUČEK, Pavel; Tereza SCHMIDTOVÁ; Lukáš ZÁBRANSKÝ; Vilma BURŠÍKOVÁ; Petr VAŠINA et. al.

Základní údaje

Originální název

Comparison of nc-TiC/a-C:H Films Prepared by PVD-PECVD Process at Low and High Ion Bombardment

Autoři

SOUČEK, Pavel (203 Česká republika, domácí); Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí); Lukáš ZÁBRANSKÝ (203 Česká republika, domácí); Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí)

Vydání

NANOCON 2012, 2012

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/12:00057711

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

magnetron sputtering; titanium carbide; nanocomposite

Štítky

Změněno: 23. 4. 2013 09:36, Ing. Andrea Mikešková

Anotace

V originále

Two series of nc-TiC/a-C:H coatings with varying chemical composition were prepared using a deposition process consisting of titanium target sputtering in argon/acetylene atmosphere combined into a hybrid PVD-PECVD. The range of chemical compositions was chosen in order to achieve optimal hardness of the coatings – from 30 at.% to 70 at.% Ti. The films were ~ 5 microns thick with 700 nm titanium interlayer to promote the adhesion of the coatings to industrially important substrates like cemented tungsten carbide and high speed steel. The different levels of ion bombardment were achieved by different magnetic fields on the cathode. A well-balanced magnetic field was used for low ion bombardment of the growing film and a strongly unbalanced magnetic field was used for high bombardment. We kept all other deposition parameters such as pressure and substrate temperature constant for both magnetic field configurations as to single out the effect of the ion bombardment on the properties of the film. Our main goal is the comparison of structure, chemical composition and mechanical properties of nc-TiC/a-C:H coatings prepared at two distinctively different ion bombardment levels.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaV
Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
GD104/09/H080, projekt VaV
Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace