2013
On sputtered particle distribution towards substrate during target erosion - simulation and experiment
KLEIN, Peter, Petr VAŠINA a Tereza SCHMIDTOVÁZákladní údaje
Originální název
On sputtered particle distribution towards substrate during target erosion - simulation and experiment
Autoři
KLEIN, Peter (703 Slovensko, domácí), Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí) a Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí)
Vydání
1st. Liberec, PAPN 2013: Book of extended abstracts, od s. 26-29, 3 s. 2013
Nakladatel
Technical University of Liberec
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Forma vydání
paměťový nosič (CD, DVD, flash disk)
Kód RIV
RIV/00216224:14310/13:00066337
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-80-7372-988-2
Klíčová slova česky
Naprašování; Magnetron; Simulácia Monte Carlo;
Klíčová slova anglicky
Sputtering; Magnetron; Monte Carlo simulation; Compound material
Příznaky
Recenzováno
Změněno: 19. 9. 2013 11:05, Mgr. Peter Klein, Ph.D.
Anotace
V originále
It is commonly observed that thin layers, especially formed by compound material deposited in planar magnetron using the same deposition manners, can have slightly different properties and composition. This research shows that one of the important factors to be considered thinking about fluxes of different species on the substrate is the target erosion state. Using Monte Carlo simulation optimal conditions for reproducibly depositing thin layer were calculated.
Návaznosti
| ED2.1.00/03.0086, projekt VaV |
| ||
| GAP205/12/0407, projekt VaV |
|