VAŠINA, Petr, Tereza SCHMIDTOVÁ, Pavel SOUČEK a Vilma BURŠÍKOVÁ. Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition. In 5th CESPC. 2013. ISBN 978-615-5270-04-8.
Další formáty:   BibTeX LaTeX RIS
Základní údaje
Originální název Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition
Autoři VAŠINA, Petr (203 Česká republika, garant, domácí), Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí).
Vydání 5th CESPC, 2013.
Další údaje
Originální jazyk angličtina
Typ výsledku Konferenční abstrakt
Obor 10305 Fluids and plasma physics
Stát vydavatele Maďarsko
Utajení není předmětem státního či obchodního tajemství
Kód RIV RIV/00216224:14310/13:00066353
Organizační jednotka Přírodovědecká fakulta
ISBN 978-615-5270-04-8
Klíčová slova anglicky magnetron sputtering; hybrid PVD-PECVD
Změnil Změnil: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D., učo 175085. Změněno: 20. 9. 2013 10:49.
Anotace
This contibution deals with study of hybrid PVD-PECVD process and its applications for carbon rich nanocomposite thin film deposition
Návaznosti
ED2.1.00/03.0086, projekt VaVNázev: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaVNázev: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
VytisknoutZobrazeno: 5. 5. 2024 01:07