a 2013

Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition

VAŠINA, Petr, Tereza SCHMIDTOVÁ, Pavel SOUČEK a Vilma BURŠÍKOVÁ

Základní údaje

Originální název

Hybrid PVD-PECVD Process and Its Applications for Carbon Rich Nanocomposite Thin Film Deposition

Autoři

VAŠINA, Petr (203 Česká republika, garant, domácí), Tereza SCHMIDTOVÁ (203 Česká republika, domácí), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí) a Vilma BURŠÍKOVÁ (203 Česká republika, domácí)

Vydání

5th CESPC, 2013

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Konferenční abstrakt

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Maďarsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/13:00066353

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

ISBN

978-615-5270-04-8

Klíčová slova anglicky

magnetron sputtering; hybrid PVD-PECVD
Změněno: 20. 9. 2013 10:49, doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Anotace

V originále

This contibution deals with study of hybrid PVD-PECVD process and its applications for carbon rich nanocomposite thin film deposition

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV
Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
GAP205/12/0407, projekt VaV
Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev