Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process
characteristics on hydrocarbon supply

J 2013

Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply

SCHMIDTOVÁ, Tereza, Pavel SOUČEK, Vít KUDRLE a Petr VAŠINA

Základní údaje

Originální název

Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply

Autoři

SCHMIDTOVÁ, Tereza (203 Česká republika, domácí), Pavel SOUČEK (203 Česká republika, domácí), Vít KUDRLE (203 Česká republika, domácí) a Petr VAŠINA (203 Česká republika, garant, domácí)

Vydání

Surface & coatings technology, Elsevier, 2013, 0257-8972

Další údaje

Jazyk

angličtina

Typ výsledku

Článek v odborném periodiku

Obor

10305 Fluids and plasma physics

Stát vydavatele

Švýcarsko

Utajení

není předmětem státního či obchodního tajemství

Odkazy

URL

Impakt faktor

Impact factor: 2.199

Kód RIV

RIV/00216224:14310/13:00066489

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

DOI

http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014

UT WoS

000327691300037

Klíčová slova anglicky

Magnetron sputtering; Diagnostics of deposition process; Nanocomposites; Metal – carbon coatings

Štítky

AKR, rivok

Příznaky

Mezinárodní význam, Recenzováno

Změněno: 22. 7. 2024 10:09, Mgr. Marie Novosadová Šípková, DiS.

Anotace

V originále

Hybrid PVD – PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon (PECVD). This process can be used for preparation of metal carbon nanocomposites (MeC/C(:H)) or DLC layers doped with metal (DLC:Me). The aim of this paper is to describe and understand elementary processes in fl uencing the hybrid PVD – PECVD process. A non-monotonous dependence of cathode voltage and current, total pressure and spectral line intensities on acetylene supply fl ow is reported. Explanation of non- monotonous evolutions through the analysis of the target state correlating the process characteristics with properties of coatings prepared by this process is proposed.

Návaznosti

ED2.1.00/03.0086, projekt VaV

Název: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy

GAP205/12/0407, projekt VaV

Název: Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev

Investor: Grantová agentura ČR, Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev

GD104/09/H080, projekt VaV

Název: Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace

Investor: Grantová agentura ČR, Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace

Přiložené soubory

1-s2.0-S0257897213004428-main.pdf

Vyhledat podobné dokumenty

Citovat

SCHMIDTOVÁ, Tereza, Pavel SOUČEK, Vít KUDRLE a Petr VAŠINA. Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply. Surface & coatings technology. Elsevier, 2013, roč. 2013, č. 232, s. 283-289. ISSN 0257-8972. Dostupné z: https://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014.

@article{1129169,
   author = {Schmidtová, Tereza and Souček, Pavel and Kudrle, Vít and Vašina, Petr},
   article_number = {232},
   doi = {http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014},
   keywords = {Magnetron sputtering; Diagnostics of deposition process; Nanocomposites; Metal – carbon coatings},
   language = {eng},
   issn = {0257-8972},
   journal = {Surface & coatings technology},
   title = {Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply},
   url = {https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897213004428?via%3Dihub},
   volume = {2013},
   year = {2013}
}

TY  - JOUR
ID  - 1129169
AU  - Schmidtová, Tereza - Souček, Pavel - Kudrle, Vít - Vašina, Petr
PY  - 2013
TI  - Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply
JF  - Surface & coatings technology
VL  - 2013
IS  - 232
SP  - 283-289
EP  - 283-289
PB  - Elsevier
SN  - 02578972
KW  - Magnetron sputtering
KW  - Diagnostics of deposition process
KW  - Nanocomposites
KW  - Metal – carbon coatings
UR  - https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897213004428?via%3Dihub
N2  - Hybrid PVD – PECVD process of titanium sputtering in argon and acetylene atmosphere combines aspects of both conventional techniques: sputtering of titanium target (PVD) and acetylene as a source of carbon (PECVD). This process can be used for preparation of metal carbon nanocomposites (MeC/C(:H)) or DLC layers doped with metal (DLC:Me). The aim of this paper is to describe and understand elementary processes in fl uencing the hybrid PVD – PECVD process. A non-monotonous dependence of cathode voltage and current, total pressure and spectral line intensities on acetylene supply fl ow is reported. Explanation of non- monotonous evolutions through the analysis of the target state correlating the process characteristics with properties of coatings prepared by this process is proposed.
ER  -

SCHMIDTOVÁ, Tereza, Pavel SOUČEK, Vít KUDRLE a Petr VAŠINA. Non-monotonous evolution of hybrid PVD – PECVD process characteristics on hydrocarbon supply. \textit{Surface \&{} coatings technology}. Elsevier, 2013, roč.~2013, č.~232, s.~283-289. ISSN~0257-8972. Dostupné z: https://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.05.014.

Podrobný výpis o publikaci