J 2013

Lattice constants and optical response of pseudomorph Si-rich SiGe:B

CAHA, Ondřej, P. KOSTELNÍK, Jan ŠIK, Y.D. KIM, Josef HUMLÍČEK et. al.

Basic information

Original name

Lattice constants and optical response of pseudomorph Si-rich SiGe:B

Name in Czech

Mřížkové parametry a optická odezva pseudomorfní slitiny SiGe:B

Authors

CAHA, Ondřej (203 Czech Republic, belonging to the institution), P. KOSTELNÍK (203 Czech Republic), Jan ŠIK (203 Czech Republic, belonging to the institution), Y.D. KIM (410 Republic of Korea) and Josef HUMLÍČEK (203 Czech Republic, guarantor, belonging to the institution)

Edition

Applied Physics Letters, USA, American institute of physics, 2013, 0003-6951

Other information

Language

English

Type of outcome

Článek v odborném periodiku

Field of Study

10302 Condensed matter physics

Country of publisher

United States of America

Confidentiality degree

není předmětem státního či obchodního tajemství

Impact factor

Impact factor: 3.515

RIV identification code

RIV/00216224:14740/13:00065531

Organization unit

Central European Institute of Technology

UT WoS

000327818700048

Keywords in English

silicon; SiGe alloys; heavy doping

Tags

Tags

International impact, Reviewed
Změněno: 8/2/2018 09:38, prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.

Abstract

V originále

Pseudomorph epitaxial films of Si1-xGex:B were grown on undoped (100) Si for x<0.026 and the B concentration of 1.3E20 cm-3. The in-plane and out-of-plane lattice constants were determined using the X-ray techniques for 004 symmetric and 224 asymmetric diffraction. The influence of B and Ge co-doping has been detected in reflectance and ellipsometric spectra from infrared to ultraviolet. Free-hole plasma and Fano-type resonances of Si phonons and localized 11B and 10B vibrations have been observed. The spectral shift of E1 electronic transitions has been quantified. We found a simple way to test the variations of Ge content using relative reflectance spectra.

In Czech

Pseudomorní epitaxní vrstvy Si1-xGex:B byly připraveny na nedopovaném (100) Si pro x<0.026 a koncentraci B 1.3E20 cm-3. Mřížkové konstanty v rovině vrstvy a kolmo na ni byly určeny pomocí symetrické rtg difrakce 004 a asymetrické difrakce 224. Vliv dopingu B a Ge byl detekován v reflexních a elipsometrických spektrech v oblasti IR-UV. Byla pozorována odezva plasmatu volných děr a Fanova rezonance fononů Si a lokalizovaných vibrací 11B a 10B. Spektrální posuv přechodů E1 byl kvantifikován. Našli jsme jednoduchou možnost testu změn obsahu Ge užitím spekter relativní reflektance.

Links

MUNI/A/1047/2009, interní kód MU
Name: Struktura, elektronová struktura a optická odezva pokročilých materiálů
Investor: Masaryk University, Category A
TA01010078, research and development project
Name: Struktury SOI pro pokročilé polovodičové aplikace (Acronym: ONSEMI)
Investor: Technology Agency of the Czech Republic