Other formats:
BibTeX
LaTeX
RIS
@misc{1226624, author = {Münz, Filip and Humlíček, Josef}, keywords = {thin layer; mapping; spectroscopy}, language = {cze}, title = {Zařízení pro měření tloušťky polovodičových vrstevnatých struktur SOI}, url = {http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0027/uv027013.pdf}, year = {2014} }
TY - ID - 1226624 AU - Münz, Filip - Humlíček, Josef PY - 2014 TI - Zařízení pro měření tloušťky polovodičových vrstevnatých struktur SOI KW - thin layer KW - mapping KW - spectroscopy UR - http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0027/uv027013.pdf L2 - http://spisy.upv.cz/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0027/uv027013.pdf N2 - Technické řešení se týká zařízení pro měření tloušťky polovodičových vrstevnatých struktur SOI optickou metodou ve VIS/NIR oblasti s přesností cca 30 nm v rozsahu 1-10 mikrometrů; zahrnuje zdroj záření, optická vlákna, skener, spektrometr, řídící elektroniku a počítač. ER -
MÜNZ, Filip and Josef HUMLÍČEK. \textit{Zařízení pro měření tloušťky polovodičových vrstevnatých struktur SOI (Apparatus to measure thickness of SOI semiconductor layered structures)}. 2014.
|