Lecture notes on principles of plasma processing

Přeskočit na horní lištu Přeskočit na hlavičku Přeskočit na obsah Přeskočit na patičku

Publikace Podrobný výpis o publikaci

Podrobný výpis o publikaci

2003

Lecture notes on principles of plasma processing

CHEN, Francis F. a Jane P. CHANG

Základní údaje

Originální název

Lecture notes on principles of plasma processing

Autoři

CHEN, Francis F. a Jane P. CHANG

Vydání

New York, N.Y. ix, 208, 2003

Nakladatel

Kluwer Academic/Plenum publishers

Další údaje

ISBN

0306474972

Změněno: 8. 8. 2022 13:08, Záznam byl importován z knihovního systému.

CHEN, Francis F. a Jane P. CHANG. Lecture notes on principles of plasma processing. New York, N.Y.: Kluwer Academic/Plenum publishers, 2003, ix, 208. ISBN 0306474972.

CHEN, Francis F. a Jane P. CHANG. \textit{Lecture notes on principles of plasma processing}. New York, N.Y.: Kluwer Academic/Plenum publishers, 2003, ix, 208. ISBN~0306474972.