G 2014

Antireflexní vrstva z materiálů HfO2/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

BŘEZINA, Jaromír a Daniel FRANTA

Základní údaje

Originální název

Antireflexní vrstva z materiálů HfO2/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

Název anglicky

Antireflection coating consisting of HfO2/SiO2 materials for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm

Autoři

BŘEZINA, Jaromír (203 Česká republika) a Daniel FRANTA (203 Česká republika, garant, domácí)

Vydání

2014

Další údaje

Jazyk

čeština

Typ výsledku

Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)

Obor

10306 Optics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

obsah podléhá obchodnímu tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/14:00073343

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

multi-layer antireflection coating; HfO2/SiO2 materials; deep ultraviolet (DUV) region; wavelength of 266nm

Technické parametry

Rs,Rp <0.25% pro 265-267nm deg 0-10
Změněno: 9. 4. 2015 10:20, Mgr. David Nečas, Ph.D.

Anotace

ORIG EN

V originále

*Vícenásobná antireflexní vrstva z materiálů HfO2/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm

Anglicky

*Multi-layer antireflection coating consisting of HfO2/SiO2 materials for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm

Návaznosti

TA02010784, projekt VaV
Název: Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu
Investor: Technologická agentura ČR, Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu