G 2015

Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°

BŘEZINA, Jaromír a Daniel FRANTA

Základní údaje

Originální název

Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°

Název anglicky

Beamsplitter for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm and angle of incident 45°±6°

Autoři

BŘEZINA, Jaromír (203 Česká republika) a Daniel FRANTA (203 Česká republika, garant, domácí)

Vydání

2015

Další údaje

Jazyk

čeština

Typ výsledku

Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)

Obor

10306 Optics

Stát vydavatele

Česká republika

Utajení

obsah podléhá obchodnímu tajemství

Kód RIV

RIV/00216224:14310/15:00080451

Organizační jednotka

Přírodovědecká fakulta

Klíčová slova anglicky

beamsplitter; HfO2/SiO2; deep ultraviolet (DUV) region; wavelength of 266nm; BS 80/20

Technické parametry

Tp,Ts=81±1% pro 266nm 45±6deg Rp,Rs=16±3% pro 266nm 45±6deg. Výsledek byl vyroben na základě ověření vlastností.

Štítky

Změněno: 3. 4. 2016 12:18, Ing. Andrea Mikešková

Anotace

V originále

*Dělič světla (propustnost 81% odrazivost 16%) pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°. Výsledek byl vyroben na základě ověření vlastností.

Anglicky

*Beamsplitter (transmission 81% reflectance 16%) for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm and angle of incident 45°±6°. The result was made based on the verification of properties.

Návaznosti

TA02010784, projekt VaV
Název: Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu
Investor: Technologická agentura ČR, Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu