Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°

BŘEZINA, Jaromír a Daniel FRANTA. Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°. 2015.

Základní údaje

• Originální název: Dělič světla pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°
• Název anglicky: Beamsplitter for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm and angle of incident 45°±6°
• Autoři: BŘEZINA, Jaromír (203 Česká republika) a Daniel FRANTA (203 Česká republika, garant, domácí).
• Vydání: 2015.

Další údaje

• Originální jazyk: čeština
• Typ výsledku: Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
• Obor: 10306 Optics
• Stát vydavatele: Česká republika
• Utajení: obsah podléhá obchodnímu tajemství
• Kód RIV: RIV/00216224:14310/15:00080451
• Organizační jednotka: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova anglicky: beamsplitter; HfO2/SiO2; deep ultraviolet (DUV) region; wavelength of 266nm; BS 80/20
• Technické parametry: Tp,Ts=81±1% pro 266nm 45±6deg Rp,Rs=16±3% pro 266nm 45±6deg. Výsledek byl vyroben na základě ověření vlastností.
• Štítky: AKR, rivok

Anotace

*Dělič světla (propustnost 81% odrazivost 16%) pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm a dopadový úhel 45°±6°. Výsledek byl vyroben na základě ověření vlastností.

Anotace anglicky

*Beamsplitter (transmission 81% reflectance 16%) for the deep ultraviolet (DUV) region of the spectrum at the wavelength of 266nm and angle of incident 45°±6°. The result was made based on the verification of properties.

Návaznosti

• TA02010784, projekt VaV: Název: Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu

Investor: Technologická agentura ČR, Optimalizace vrstevnatých systémů používaných v optickém průmyslu