2015
GROWTH OF SILICON NANOWIRES BY THERMAL ANNEALING OF THICK GOLD CATALYTIC LAYER ON SILICON SUBSTRATE UNDER DIFFERENT ATMOSPHERES
ŠPERKA, Jiří, Ondřej JAŠEK, Lenka ZAJÍČKOVÁ a Josef HAVELZákladní údaje
Originální název
GROWTH OF SILICON NANOWIRES BY THERMAL ANNEALING OF THICK GOLD CATALYTIC LAYER ON SILICON SUBSTRATE UNDER DIFFERENT ATMOSPHERES
Název česky
Růst křemíkových nanodrátků termickým žíháním katalytické vrstvy zlata v různých atmosférách
Autoři
ŠPERKA, Jiří (203 Česká republika, domácí), Ondřej JAŠEK (203 Česká republika, garant, domácí), Lenka ZAJÍČKOVÁ (203 Česká republika, domácí) a Josef HAVEL (203 Česká republika, domácí)
Vydání
1. vyd. SLEZSKA, NANOCON 2015: 7TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION, od s. 79-84, 6 s. 2015
Nakladatel
TANGER LTD
Další údaje
Jazyk
angličtina
Typ výsledku
Stať ve sborníku
Obor
10301 Atomic, molecular and chemical physics
Stát vydavatele
Česká republika
Utajení
není předmětem státního či obchodního tajemství
Forma vydání
paměťový nosič (CD, DVD, flash disk)
Odkazy
Kód RIV
RIV/00216224:14310/15:00090296
Organizační jednotka
Přírodovědecká fakulta
ISBN
978-80-87294-63-5
UT WoS
000374708800012
Klíčová slova česky
nanodártky; křemík; zlato; eutektikum; povrchové procesy
Klíčová slova anglicky
Nanowires; Silicon; Gold; Eutectics; Surface processes
Příznaky
Mezinárodní význam, Recenzováno
Změněno: 20. 4. 2017 12:06, Ing. Andrea Mikešková
V originále
Silicon nanowires (Si NWs) were grown from Si wafer upon thermal annealing in the presence of catalytic gold layer. The Si substrate coated with 100 nm thick Au sputtered layer was thermally annealed at 1000 degrees C for 60 min in argon and hydrogen atmosphere at 8 kPa. The influence of argon and hydrogen atmospheres on the growth of Si NWs was investigated. It was found that by using the hydrogen atmosphere we were able to grow Si NWs, while the growth in argon atmosphere was sporadic. The catalytic layer morphology and composition were examined using atomic force microscopy and laser desorption-ionization time of flight mass spectrometry, while nanowire structure was observed through scanning electron microscope and energy dispersive X-ray spectroscopy.
Česky
Křemíkové nanodrátky rostly na Si substrátu termíckým žíháním katalytické vrstvy zlata. 100 nm tlustá vrstva zlata na Si připravená magnetronovým naprašováním byla žíhána za teploty 1000 C po dobu 60 minut v argonové a vodíkové atmosféře při tlaku 8 kPa. Bylo zjištěno, že ve vodíkové atmosféře lze pozorovat růst nanodrátků zatímco v argonů byl růst jen sporadický. Morfologie a složení vrstvy bylo zkoumáno metodami AFM a LDI TOF spektrospkopií. Struktura nanodrátků byla zkoumána pomocí metod SEM a EDX spektroskopií.
Návaznosti
| ED1.1.00/02.0068, projekt VaV |
| |
| ED2.1.00/03.0086, projekt VaV |
|